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Mg/TMO_x(TM-Ti,Nb)薄膜的磁控溅射制备及储氢性能

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 绪论第12-30页
    1.1 氢能概述第12-14页
        1.1.1 氢能源的特点第12-13页
        1.1.2 储氢技术概述第13-14页
    1.2 固体储氢材料第14-19页
        1.2.1 储氢合金简介第15-17页
        1.2.2 配位金属化合物储氢材料第17-18页
        1.2.3 吸附储氢材料第18-19页
    1.3 镁基储氢合金第19-25页
        1.3.1 镁基储氢合金的热力学和动力学第20-21页
        1.3.2 镁基储氢材料的制备第21-23页
        1.3.3 镁基储氢材料的改性方法第23-25页
    1.4 镁基储氢薄膜第25-28页
        1.4.1 镁基储氢薄膜及特性第25-26页
        1.4.2 镁基储氢薄膜制备方法第26-27页
        1.4.3 纳米复合多层膜储氢优化机制第27-28页
    1.5 本课题研究意义与研究内容第28-30页
        1.5.1 研究意义第28-29页
        1.5.2 研究内容第29-30页
第二章 实验材料与方法第30-35页
    2.1 材料制备第30-31页
        2.1.1 实验原材料第30-31页
        2.1.2 磁控溅射镀膜第31页
    2.2 材料结构与组织表征第31-32页
        2.2.1 X射线衍射分析第31-32页
        2.2.2 扫描电镜显微组织观测及能谱分析第32页
    2.3 储氢性能测试及设备第32-35页
        2.3.1 储氢测试分析第32-33页
        2.3.2 质谱分析第33-34页
        2.3.3 热重分析第34-35页
第三章 Mg/TiO_x(x=0~2)及Mg/NbO_x(x=0~2.5)磁控溅射制备储氢薄膜第35-52页
    3.1 实验方法第35-37页
        3.1.1 磁控溅射原理第35-36页
        3.1.2 磁控溅射实验设备第36页
        3.1.3 靶材及基片的选择和预处理第36-37页
        3.1.4 薄膜制备流程第37页
    3.2 Mg/TiO_x薄膜制备工艺第37-43页
        3.2.1 磁控溅射工艺参数第37-38页
        3.2.2 溅射功率对Mg/TiO_x沉积速率的影响第38-41页
        3.2.3 薄膜沉积速率的估算第41-42页
        3.2.4 溅射工艺对薄膜相结构与组织的影响第42-43页
    3.3 Mg/NbO_x薄膜制备工艺第43-49页
        3.3.1 磁控溅射工艺参数第43-44页
        3.3.2 溅射功率对Mg/NbO_x沉积速率的影响第44-47页
        3.3.3 薄膜沉积速率的估算第47-48页
        3.3.4 溅射工艺对相结构与组织的影响第48-49页
    3.4 Pd膜制备工艺第49-50页
    3.5 讨论第50页
    3.6 本章小结第50-52页
第四章 Mg/TiO_x(x=0~2)多层薄膜的储氢性能研究第52-65页
    4.1 实验方法第53页
    4.2 纯Mg膜的储氢性能第53-54页
    4.3 不同结构的Mg/TiO_x八层膜储氢性能第54-57页
        4.3.1 不同催化剂对Mg基薄膜储氢性能的影响第54-55页
        4.3.2 升温速率对脱氢温度的影响第55页
        4.3.3 多层膜XRD相结构分析和SEM表征第55-57页
    4.4 Mg厚度对Mg/TiO_x八层膜储氢性能影响第57-58页
    4.5 催化剂厚度对Mg/TiO_x八层膜储氢性能影响第58-59页
    4.6 氢压对Mg/TiO_x八层膜储氢性能影响第59-60页
    4.7 TG测试和动力学测试第60-62页
    4.8 Mg/TiO_x多层膜的储氢机理研究第62-63页
    4.9 本章小结第63-65页
第五章 Mg/NbO_x(x=0~2.5)多层薄膜的储氢性能研究第65-77页
    5.1 实验方法第66页
    5.2 不同结构的Mg/NbO_x八层膜储氢性能第66-69页
        5.2.1 不同催化剂对Mg基薄膜储氢性能的影响第66-67页
        5.2.2 多层膜XRD相结构分析和SEM表征第67-69页
    5.3 Mg厚度对Mg/NbO_x八层膜储氢性能影响第69-71页
    5.4 催化剂厚度对Mg/NbO_x八层膜储氢性能的影响第71-72页
    5.5 TG测试和动力学测试第72-74页
    5.6 多层膜的储氢机理研究第74-75页
    5.7 本章小结第75-77页
全文总结及工作展望第77-80页
    全文总结第77-78页
    工作展望第78-80页
参考文献第80-89页
攻读硕士学位期间取得的研究成果第89-90页
致谢第90-92页
附件第92页

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