| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-12页 |
| 1.1.1 精密定位与宏微结合 | 第10-11页 |
| 1.1.2 宏微结合系统的组成 | 第11-12页 |
| 1.1.3 宏微耦合 | 第12页 |
| 1.2 国内外研究进展 | 第12-17页 |
| 1.2.1 宏微结合精密定位台的国内外研究进展 | 第12-15页 |
| 1.2.2 宏微结合系统控制国内外研究进展 | 第15-16页 |
| 1.2.3 宏微耦合研究进展 | 第16-17页 |
| 1.3 本文的主要内容 | 第17-19页 |
| 第二章 宏微精密定位系统动力学分析 | 第19-30页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 宏微精密定位系统刚体逆动力学建模 | 第19-22页 |
| 2.3 宏微耦合系统动力学模型仿真 | 第22-29页 |
| 2.3.1 理论计算与仿真对比 | 第22-25页 |
| 2.3.2 改变微动平台质量的系统动力学特性 | 第25-26页 |
| 2.3.3 不同轨迹速度下的系统动力学特性 | 第26-28页 |
| 2.3.4 讨论 | 第28-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 基于神经网络的宏动并联机构全闭环控制研究 | 第30-49页 |
| 3.1 引言 | 第30-31页 |
| 3.2 宏动3-RRR并联机构控制系统 | 第31页 |
| 3.3 PI控制器参数调整 | 第31-33页 |
| 3.4 自校正BP神经网络调节PI参数 | 第33-42页 |
| 3.4.1 自校正BP神经网络调节PI参数算法研究 | 第33-38页 |
| 3.4.2 自校正BP神经网络调节PI参数算法仿真分析 | 第38-42页 |
| 3.5 自校正RBF神经网络调节PI参数 | 第42-47页 |
| 3.5.1 RBF神经网络模型调整PI参数算法研究 | 第42-45页 |
| 3.5.2 RBF神经网络模型调整PI参数算法仿真分析 | 第45-47页 |
| 3.6 本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 宏动3-RRR机构控制与宏微耦合实验研究 | 第49-92页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 宏微精密定位系统组成 | 第49-54页 |
| 4.2.1 宏动3-RRR系统组成 | 第49-52页 |
| 4.2.2 微动柔顺3-RRR系统组成 | 第52-54页 |
| 4.3 两套宏动位移测量系统开发 | 第54-63页 |
| 4.3.1 视觉测量系统 | 第54-57页 |
| 4.3.2 激光位移传感器测量系统 | 第57-59页 |
| 4.3.3 两种位置测量方案实验评价 | 第59-63页 |
| 4.4 神经网络整定PI参数实验 | 第63-75页 |
| 4.4.1 BP神经网络整定PI控制算法的实验结果 | 第65-71页 |
| 4.4.2 RBF神经网络整定PI控制算法的实验结果 | 第71-75页 |
| 4.5 宏微耦合实验 | 第75-91页 |
| 4.5.1 不同圆轨迹速度下宏微精密定位系统驱动关节加速度实验 | 第76-77页 |
| 4.5.2 宏微结合下微动平台对宏动平台的负载效应 | 第77-83页 |
| 4.5.3 宏微结合下宏动平台对微动平台的影响 | 第83-91页 |
| 4.6 本章小结 | 第91-92页 |
| 总结与展望 | 第92-94页 |
| 参考文献 | 第94-99页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第99-100页 |
| 致谢 | 第100-101页 |
| 附件 | 第101页 |
