高功率容量薄膜体声波双工器的研究与设计
| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第12-13页 |
| 1.2 薄膜体声波滤波器与其它滤波器的对比 | 第13-14页 |
| 1.3 薄膜体声波双工器发展历史与研究现状 | 第14-18页 |
| 1.3.1 薄膜体声波谐振器的起源与发展 | 第14-15页 |
| 1.3.2 薄膜体声波谐振器的研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3.3 薄膜体声波双工器研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4 本文的内容安排 | 第18-20页 |
| 第二章 薄膜体声波双工器的基本理论 | 第20-34页 |
| 2.1 薄膜体声波双工器基本原理 | 第20-21页 |
| 2.1.1 BAW双工器的功能 | 第20页 |
| 2.1.2 薄膜体声波双工器的技术指标 | 第20-21页 |
| 2.1.3 各项指标对双工器性能的影响 | 第21页 |
| 2.2 薄膜体声波双工器的结构 | 第21-25页 |
| 2.2.1 梯形结构FBAR滤波器 | 第22-23页 |
| 2.2.2 网格型FBAR滤波器 | 第23-24页 |
| 2.2.3 声学耦合型FBAR滤波器 | 第24页 |
| 2.2.4 高功率容量薄膜体声波双工器的设计思路 | 第24-25页 |
| 2.3 薄膜体声波谐振器的基本理论 | 第25-33页 |
| 2.3.1 薄膜体声波谐振器的工作原理 | 第25-26页 |
| 2.3.2 薄膜体声波谐振器的结构 | 第26-28页 |
| 2.3.3 薄膜体声波谐振器的主要性能参数 | 第28-29页 |
| 2.3.4 体声波谐振器的等效电路模型 | 第29-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 高功率容量薄膜体声波谐振器有限元仿真 | 第34-53页 |
| 3.1 有限元仿真简介 | 第34-35页 |
| 3.2 薄膜体声波谐振器的电学仿真分析 | 第35-42页 |
| 3.2.1 电极层对谐振器电学性能的影响 | 第35-38页 |
| 3.2.2 压电层对谐振器电学性能的影响 | 第38-39页 |
| 3.2.3 衬底对谐振器电学性能的影响 | 第39-42页 |
| 3.3 薄膜体声波谐振器的热力学仿真分析 | 第42-46页 |
| 3.3.1 不同结构器件热力学性能对比 | 第43-44页 |
| 3.3.2 不同器件的热力分布 | 第44-46页 |
| 3.4 SMR型器件热力学性能的优化 | 第46-48页 |
| 3.4.1 谐振器谐振面积对热力学性能的影响 | 第46-47页 |
| 3.4.2 布拉格层数对热力学性能的影响 | 第47-48页 |
| 3.5 柔性基FBAR器件的热力性能优化 | 第48-50页 |
| 3.6 空气腔型FBAR器件的热力学性能优化 | 第50-52页 |
| 3.6.1 空腔厚度对器件热力学性能的影响 | 第50-51页 |
| 3.6.2 支撑层材料对器件热力学性能的影响 | 第51-52页 |
| 3.7 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 高功率容量薄膜体声波谐振器的制备 | 第53-70页 |
| 4.1 器件制备所用MEMS工艺简介 | 第53-56页 |
| 4.1.1 薄膜沉积 | 第53-54页 |
| 4.1.2 光刻 | 第54-56页 |
| 4.1.3 刻蚀 | 第56页 |
| 4.2 缓坡结构的实现 | 第56-61页 |
| 4.2.1 加热光刻胶 | 第57-58页 |
| 4.2.2 控制掩膜版与光刻胶之间的距离 | 第58-61页 |
| 4.3 SMR型谐振器的制备 | 第61-68页 |
| 4.3.1 SMR器件制备方案 | 第61-63页 |
| 4.3.2 制备过程 | 第63-67页 |
| 4.3.3 测试结果 | 第67-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 第五章 高功率容量薄膜体声波双工器的仿真与设计 | 第70-82页 |
| 5.1 FBAR双工器仿真设计 | 第70-73页 |
| 5.1.1 SMR型谐振器的Mason模型 | 第70-72页 |
| 5.1.2 FBAR双工器设计指标 | 第72-73页 |
| 5.2 接收端FBAR滤波器的仿真设计 | 第73-79页 |
| 5.2.1 梯形结构滤波器模型 | 第74-77页 |
| 5.2.2 网格型FBAR滤波器模型 | 第77-79页 |
| 5.3 发射端FBAR滤波器的设计 | 第79-80页 |
| 5.4 BAW双工器的仿真设计 | 第80-81页 |
| 5.5 本章小结 | 第81-82页 |
| 第六章 总结与展望 | 第82-84页 |
| 6.1 全文总结 | 第82-83页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第89页 |
