| 中文摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 光开关的应用 | 第9-11页 |
| 1.2 光开关的分类 | 第11-13页 |
| 1.3 聚合物热光开关研究进展 | 第13-15页 |
| 1.4 本论文的主要工作内容 | 第15-16页 |
| 第2章 热光开关基本理论 | 第16-26页 |
| 2.1 热光效应 | 第16-18页 |
| 2.2 平板波导理论 | 第18-23页 |
| 2.2.1 非对称三层平板波导理论 | 第18-22页 |
| 2.2.2 矩型波导有效折射率分析 | 第22-23页 |
| 2.3 MZI 型平面波导热光开关的理论分析 | 第23-26页 |
| 第3章 SiO_2/聚合物 Y 分支型热光开关的设计与制备 | 第26-36页 |
| 3.1 热光开关的材料选择 | 第26-28页 |
| 3.2 Y 分支型热光开关的工作原理及结构设计 | 第28-30页 |
| 3.2.1 Y 分支型热光开关工作原理 | 第28-29页 |
| 3.2.2 Y 分支型热光开关的结构设计 | 第29-30页 |
| 3.3 Y 分支型热光开关的制备工艺 | 第30-32页 |
| 3.4 器件性能测试 | 第32-36页 |
| 第4章 2×2 MMI-MZI 型聚合物热光开关的设计与制备 | 第36-43页 |
| 4.1 器件结构理论模拟 | 第36-38页 |
| 4.2 器件工艺制备 | 第38-40页 |
| 4.3 器件性能测试 | 第40-43页 |
| 第5章 聚合物三维集成热光开关的设计与制备 | 第43-54页 |
| 5.1 三维集成热光器件 | 第43-46页 |
| 5.1.1 三维集成热光器件的研究进展 | 第43-44页 |
| 5.1.2 聚合物三维热光器件的基本单元及其工作原理 | 第44-46页 |
| 5.2 器件的设计与制备 | 第46-51页 |
| 5.2.1 三维集成热光开关结构 | 第46-49页 |
| 5.2.2 器件制备工艺 | 第49-51页 |
| 5.3 器件性能测试 | 第51-54页 |
| 第6章 总结与展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 攻读硕士学位期间的科研成果 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
