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半导体制造设备产能管理系统的设计与实现

摘要第3-4页
ABSTRACT第4页
1 绪论第8-13页
    1.1 背景意义第8-9页
    1.2 研究现状第9-10页
    1.3 研究内容与取得的成果第10-11页
        1.3.1 研究目标第11页
        1.3.2 研究内容与取得的成果第11页
    1.4 论文结构第11-13页
2 设备产能管理系统技术分析第13-23页
    2.1 CIM 及设备产能管理研究综述第13-16页
    2.2 设备产能管理系统的需求及存在的问题第16-17页
        2.2.1 设备产能计算原始数据的获取第16-17页
        2.2.2 数据的文本解析与存储第17页
        2.2.3 设备产能计算数学模型的建立与实现第17页
    2.3 本文的研究方法第17-18页
    2.4 相关通信协议、技术简介第18-22页
        2.4.1 SECS 通信协议第18-19页
        2.4.2 PERL 语言技术第19-20页
        2.4.3 数据库服务器端编程PL/SQL 语言技术第20-22页
    2.5 本章小结第22-23页
3 设备产能管理系统的研究与设计第23-40页
    3.1 设备产能管理系统架构设计第23-24页
    3.2 运行环境设计第24-27页
        3.2.1 硬件平台第25页
        3.2.2 软件平台第25-27页
    3.3 系统的核心技术方案设计与实现第27-39页
        3.3.1 利用SECS 通信协议在EAP 中采集设备生产数据第27-31页
        3.3.2 利用PERL 语言获取EAP 日志文件并做文本处理第31-36页
        3.3.3 利用PL/SQL 语言实现PWPH 的计算第36-39页
    3.4 本章小结第39-40页
4 设备产能管理系统的实现第40-56页
    4.1 设备生产数据通过EAP 自动采集的实现第40-41页
        4.1.1 EAP 配置文件的定义第40-41页
        4.1.2 EAP 日志文件的格式第41页
    4.2 设备产能计算所需数据的解析与存储的实现第41-44页
        4.2.1 自动定期抓取日志文件第42页
        4.2.2 日志文件解析第42-43页
        4.2.3 数据自动存储第43-44页
    4.3 设备产能数学模型计算的实现第44-45页
        4.3.1 设备产能数学模型建立第44-45页
        4.3.2 存储过程实现设备产能数学模型第45页
    4.4 设备产能管理系统用户界面功能第45-51页
        4.4.1 用户账号管理第46-47页
        4.4.2 数据查询功能第47-48页
        4.4.3 数据应用及维护功能第48-49页
        4.4.4 数据报表功能第49-51页
    4.5 设备产能管理系统的性能测试及系统数据结果分析第51-54页
        4.5.1 系统性能测试第51-52页
        4.5.2 系统数据结果分析第52-54页
    4.6 本章小结第54-56页
5 总结与展望第56-58页
    5.1 课题研究成果总结第56页
    5.2 课题研究方向的展望第56-58页
参考文献第58-60页
致谢第60-61页
作者攻读学位期间发表的论文第61-63页

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