| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 课题国内外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.2.1 共焦显微测量技术的研究及应用现状 | 第12-16页 |
| 1.2.2 超分辨光瞳滤波技术的研究现状 | 第16页 |
| 1.3 共焦显微系统中的像差简介 | 第16-19页 |
| 1.4 课题主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 对称离焦的共焦显微技术原理及分析 | 第21-32页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 对称离焦的共焦显微技术原理 | 第21-24页 |
| 2.2.1 对称离焦的结构模型 | 第21-22页 |
| 2.2.2 对称离焦的基本原理 | 第22-24页 |
| 2.3 评价指标的数值计算模型 | 第24-27页 |
| 2.3.1 斯特焦尔比 S 的计算模型 | 第24页 |
| 2.3.2 半极值全宽 FWHM 的计算模型 | 第24-26页 |
| 2.3.3 旁瓣抑制比 M 的计算模型 | 第26-27页 |
| 2.4 对称离焦结构对共焦显微系统分辨特性的影响 | 第27-31页 |
| 2.4.1 对称离焦对共焦显微系统轴向分辨特性的影响 | 第27-30页 |
| 2.4.2 对称离焦对共焦显微系统横向分辨特性的影响 | 第30-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 对称离焦的反射式共焦显微系统的实现 | 第32-49页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 基于二次位相光瞳的对称离焦结构的实现方法 | 第32-35页 |
| 3.2.1 针孔轴向离焦对共焦系统的影响 | 第32-33页 |
| 3.2.2 二次位相光瞳的对称离焦实现 | 第33-35页 |
| 3.3 基于焦移效应的对称离焦结构的实现方法 | 第35-45页 |
| 3.3.1 适用位相光瞳滤波器的充分条件 | 第36-41页 |
| 3.3.2 焦移效应的对称离焦实现 | 第41-45页 |
| 3.4 基于差动共焦结构的对称离焦结构的实现方法 | 第45-47页 |
| 3.4.1 差动结构的对称离焦实现 | 第45-47页 |
| 3.4.2 差动结构的对称离焦实现方式改进 | 第47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 第4章 平台搭建及实验验证 | 第49-60页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 硬件平台搭建 | 第49-52页 |
| 4.2.1 实验平台模型 | 第49-50页 |
| 4.2.2 实验器件的选型 | 第50-52页 |
| 4.3 软件设计 | 第52-54页 |
| 4.3.1 A/D 采集卡设置模块 | 第52-54页 |
| 4.3.2 数据转化、显示以及记录模块 | 第54页 |
| 4.4 实验内容 | 第54-59页 |
| 4.4.1 激光器功率稳定度测试实验 | 第54-55页 |
| 4.4.2 压电陶瓷轴向位移波动测试实验 | 第55-57页 |
| 4.4.3 平台轴向分辨力测试实验 | 第57页 |
| 4.4.4 对称离焦轴向特性验证实验 | 第57-58页 |
| 4.4.5 轴向光强斯特焦尔比验证实验 | 第58-59页 |
| 4.5 展望 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66页 |