基于微流量传感器的平板微热管传热特性分析
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题提出 | 第8-9页 |
| 1.2 微热管发展及研究现状 | 第9-11页 |
| 1.3 微流量传感器国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.4 本文主要工作 | 第14-16页 |
| 2 平板微热管及热式微流量传感器特性分析 | 第16-23页 |
| 2.1 平板微热管传热特性 | 第16-18页 |
| 2.2 热式微流量传感器工作原理 | 第18-19页 |
| 2.3 温度检测方法 | 第19-21页 |
| 2.4 微热管内部流量检测方法的可行性分析 | 第21-23页 |
| 3 热式微流量传感器制作 | 第23-34页 |
| 3.1 热式微流量传感器研制 | 第23-26页 |
| 3.1.1 微流量传感器设计 | 第24-25页 |
| 3.1.2 微流量传感器制作工艺 | 第25-26页 |
| 3.2 硅基微槽道芯片制作 | 第26-29页 |
| 3.3 玻璃环制作 | 第29-30页 |
| 3.4 集成热式微流量传感器封装 | 第30-34页 |
| 4 微流量传感器检测系统设计 | 第34-43页 |
| 4.1 微流量传感器检测系统结构 | 第34页 |
| 4.2 模拟电路设计 | 第34-40页 |
| 4.2.1 微流量传感器信号采集电路 | 第35-37页 |
| 4.2.2 模拟前端电路 | 第37-40页 |
| 4.3 数字电路设计 | 第40-42页 |
| 4.3.1 MSP430单片机及其外围电路 | 第40-41页 |
| 4.3.2 通讯接口电路 | 第41页 |
| 4.3.3 模数转换器 | 第41-42页 |
| 4.4 流量显示界面 | 第42-43页 |
| 5 基于微流量传感器的平板微热管传热特性分析 | 第43-58页 |
| 5.1 PT薄膜电阻温度传感器标定 | 第43-46页 |
| 5.1.1 标定系统搭建 | 第43-44页 |
| 5.1.2 温度传感器标定 | 第44-46页 |
| 5.2 微流量传感器标定 | 第46-50页 |
| 5.2.1 不同温区的微流量传感器标定 | 第46-47页 |
| 5.2.2 微流量传感器标定曲线拟合 | 第47-50页 |
| 5.3 平板微热管蒸汽流量测试 | 第50-52页 |
| 5.3.1 平板微热管检测系统搭建 | 第50-51页 |
| 5.3.2 微流量传感器加热电压选择 | 第51页 |
| 5.3.3 微流量传感器标定及其检测 | 第51-52页 |
| 5.4 平板微热管内部蒸汽流量检测结果分析 | 第52-58页 |
| 5.4.1 平板微热管内部工质蒸汽流量检测 | 第53-55页 |
| 5.4.2 平板微热管内部蒸汽流量检测结果分析 | 第55-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
