大量程高精度的低相干光纤在线绝对位移测量系统
| 致谢 | 第1-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 1 引言 | 第10-13页 |
| ·课题研究背景和意义 | 第10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 2 测量系统的提出 | 第13-19页 |
| ·光纤单波迈克尔逊干涉仪 | 第13-14页 |
| ·测量原理 | 第13-14页 |
| ·该测量技术的优势与劣势 | 第14页 |
| ·光纤低相干干涉仪 | 第14-17页 |
| ·测量原理 | 第15-17页 |
| ·该测量技术的优势与劣势 | 第17页 |
| ·MEMS器件测量需求 | 第17-19页 |
| 3 测量系统分析 | 第19-31页 |
| ·关键器件 | 第19-24页 |
| ·波分复用 | 第19-20页 |
| ·光隔离器 | 第20-21页 |
| ·光纤布拉格光栅FBG | 第21-22页 |
| ·光环形器 | 第22-23页 |
| ·压电陶瓷PZT | 第23-24页 |
| ·系统结构分析 | 第24-27页 |
| ·测量系统的新颖性 | 第27-31页 |
| ·全光纤共路设计 | 第27-28页 |
| ·动相位跟踪补偿设计 | 第28-29页 |
| ·高相干度干涉和低相干度干涉复用设计 | 第29-31页 |
| 4 自动相位跟踪反馈补偿环分析 | 第31-38页 |
| ·二阶积分反馈电路 | 第31-33页 |
| ·反馈环传递函数 | 第33-34页 |
| ·反馈环稳定性验证 | 第34-38页 |
| 5 基于LabVIEW的位移解调程序设计 | 第38-45页 |
| ·LabVIEW简介 | 第38页 |
| ·程序设计 | 第38-45页 |
| 6 实验结果 | 第45-50页 |
| ·反馈环稳定性 | 第45-47页 |
| ·高相干度干涉信号和低相干度干涉信号 | 第47-49页 |
| ·测量系统评价 | 第49-50页 |
| 7 结论 | 第50-52页 |
| ·论文工作总结 | 第50页 |
| ·展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
| 作者简历 | 第54-56页 |
| 学位论文数据集 | 第56页 |
