| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 物理量名称及符号 | 第9-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题研究意义 | 第10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 单晶硅简介 | 第10-11页 |
| 1.2.2 内圆切割与线锯的比较 | 第11-13页 |
| 1.2.3 线锯技术研究 | 第13-15页 |
| 1.3 流体动压效应的分析方法 | 第15-18页 |
| 1.3.1 雷诺方程的数值解法 | 第15-17页 |
| 1.3.2 弹流润滑问题的数值解法 | 第17页 |
| 1.3.3 粗糙表面间弹流润滑研究 | 第17-18页 |
| 1.4 课题来源和主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 自由磨料线锯流体动压基本方程 | 第20-34页 |
| 2.1 几何模型简化及主要计算参数 | 第20-21页 |
| 2.1.1 几何模型的简化 | 第20-21页 |
| 2.1.2 自由磨料线锯主要计算参数 | 第21页 |
| 2.2 锯丝受径向力作用下的位移量计算 | 第21-27页 |
| 2.2.1 简支梁数学模型 | 第21-24页 |
| 2.2.2 半无限大弹性体数学模型 | 第24-25页 |
| 2.2.3 忽略锯丝圆弧因素数学模型 | 第25-27页 |
| 2.3 自柔顺系数 | 第27-30页 |
| 2.3.1 自柔顺系数概念 | 第27页 |
| 2.3.2 自柔顺系数的推导 | 第27-30页 |
| 2.4 流体动压基本方程 | 第30-32页 |
| 2.4.1 雷诺方程 | 第30-31页 |
| 2.4.2 膜厚方程 | 第31-32页 |
| 2.4.3 总举力方程 | 第32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-34页 |
| 第3章 自由磨料线锯流体动压方程数值解法 | 第34-44页 |
| 3.1 基本方程的无量纲化 | 第34-35页 |
| 3.1.1 雷诺方程的无量纲化 | 第34页 |
| 3.1.2 膜厚方程的无量纲化 | 第34-35页 |
| 3.1.3 总举力方程的无量纲化 | 第35页 |
| 3.2 基本方程的离散化 | 第35-39页 |
| 3.2.1 雷诺方程的离散化 | 第36-37页 |
| 3.2.2 膜厚方程的离散化 | 第37-38页 |
| 3.2.3 总举力方程的离散化 | 第38-39页 |
| 3.3 流体动压方程差分解法 | 第39-42页 |
| 3.3.1 边界条件 | 第39页 |
| 3.3.2 超松弛迭代法 | 第39-42页 |
| 3.4 程序验证 | 第42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 自由磨料线锯流体动压方程数值计算结果及分析 | 第44-54页 |
| 4.1 膜厚及压力分布曲线 | 第44-47页 |
| 4.1.1 切割区长度100mm | 第44-45页 |
| 4.1.2 切割区长度的变化 | 第45-47页 |
| 4.2 工况参数对流体动压效应的影响 | 第47-50页 |
| 4.2.1 研磨液粘度的影响 | 第47-48页 |
| 4.2.2 锯丝转角的影响 | 第48页 |
| 4.2.3 走丝速度的影响 | 第48-49页 |
| 4.2.4 锯丝张紧力的影响 | 第49-50页 |
| 4.2.5 锯丝直径的影响 | 第50页 |
| 4.3 材料去除率分析 | 第50-53页 |
| 4.3.1 磨料在硅晶体表面的运动 | 第50-52页 |
| 4.3.2 单个磨粒材料去除率分析 | 第52-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 固结磨料线锯流体动压效应 | 第54-63页 |
| 5.1 固结磨料线锯流体动压效应的特点 | 第54-55页 |
| 5.2 固结磨料线锯流体动压基本方程 | 第55-56页 |
| 5.3 固结磨料线锯流体动压方程数值求解 | 第56-59页 |
| 5.3.1 基本方程的无量纲化 | 第56-57页 |
| 5.3.2 基本方程的离散化 | 第57-58页 |
| 5.3.3 膜厚及压力分布曲线 | 第58-59页 |
| 5.4 工况参数对流体动压效应的影响 | 第59-62页 |
| 5.4.1 粗糙膜厚最大绝对值的影响 | 第59-60页 |
| 5.4.2 锯丝张紧力的影响 | 第60页 |
| 5.4.3 走丝速度的影响 | 第60-61页 |
| 5.4.4 锯丝转角的影响 | 第61页 |
| 5.4.5 研磨液粘度的影响 | 第61-62页 |
| 5.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第70页 |