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硒化铅薄膜的磁控溅射制备及性能研究

致谢第4-5页
摘要第5-7页
Abstract第7-8页
1 引言第12-13页
2 绪论第13-36页
    2.1 概述第13-14页
    2.2 红外探测器第14-19页
        2.2.1 红外探测器发展第14-15页
        2.2.2 红外探测器分类第15-16页
        2.2.3 光导型红外探测器第16-19页
    2.3 硒化铅(PbSe)红外探测器第19-34页
        2.3.1 PbSe简介第19-20页
        2.3.2 PbSe材料研究现状第20-21页
        2.3.3 PbSe薄膜制备方法第21-28页
        2.3.4 PbSe薄膜性能研究第28-31页
        2.3.5 PbSe薄膜理论研究第31-33页
        2.3.6 PbSe薄膜应用研究第33-34页
    2.4 本论文研究内容第34-36页
3 PbSe薄膜生长过程的热力学研究第36-53页
    3.1 引言第36-37页
    3.2 实验过程第37-38页
        3.2.1 热力学模拟计算第37-38页
        3.2.2 PbSe薄膜制备及表征第38页
    3.3 实验结果及讨论第38-52页
        3.3.1 表面能模拟计算第39-40页
        3.3.2 界面能模拟计算第40-43页
        3.3.3 应变能模拟计算第43-45页
        3.3.4 能带结构模拟第45-47页
        3.3.5 实验验证第47-52页
    3.4 本章小结第52-53页
4 镀膜工艺参数对PbSe薄膜性能的影响第53-85页
    4.1 引言第53-54页
    4.2 实验过程第54-57页
        4.2.1 PbSe薄膜制备第54-56页
        4.2.2 PbSe薄膜表征第56-57页
    4.3 实验结果及讨论第57-83页
        4.3.1 沉积时间对PbSe薄膜性能的影响第57-73页
        4.3.2 沉积温度对PbSe薄膜性能的影响第73-83页
    4.4 本章小结第83-85页
5 敏化处理对PbSe薄膜性能的影响第85-102页
    5.1 引言第85-86页
    5.2 实验过程第86-87页
        5.2.1 PbSe薄膜准备第86页
        5.2.2 PbSe薄膜敏化处理第86-87页
        5.2.3 PbSe薄膜表征第87页
    5.3 实验结果及讨论第87-101页
        5.3.1 敏化处理对PbSe薄膜电学性能的影响第87-90页
        5.3.2 敏化处理对PbSe薄膜成分和结构的影响第90-93页
        5.3.3 敏化处理对PbSe薄膜光学性能的影响第93-98页
        5.3.4 敏化处理对PbSe薄膜光电性能的影响第98-101页
    5.4 本章小结第101-102页
6 掺杂对PbSe薄膜性能的影响第102-116页
    6.1 引言第102-103页
    6.2 实验过程第103-104页
        6.2.1 掺杂PbSe薄膜制备第103-104页
        6.2.2 掺杂PbSe薄膜表征第104页
    6.3 实验结果及讨论第104-114页
        6.3.1 掺杂对PbSe薄膜形貌及成分的影响第104-108页
        6.3.2 掺杂对PbSe薄膜晶体结构的影响第108-110页
        6.3.3 掺杂对PbSe薄膜光学性能的影响第110-113页
        6.3.4 掺杂对PbSe薄膜光电性能的影响第113-114页
    6.4 本章小结第114-116页
7 PbSe薄膜红外探测器第116-124页
    7.1 引言第116-117页
    7.2 实验过程第117-119页
        7.2.1 PbSe红外探测器组装第117-118页
        7.2.2 PbSe红外探测器测试第118-119页
    7.3 实验结果及讨论第119-123页
        7.3.1 PbSe红外探测器的峰值波长第120-121页
        7.3.2 PbSe红外探测器的响应度第121-122页
        7.3.3 PbSe红外探测器的探测率第122-123页
    7.4 本章小结第123-124页
8 结论第124-126页
9 未来展望第126-127页
参考文献第127-140页
作者简历及在学研究成果第140-143页
学位论文数据集第143页

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