| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 前言 | 第9-38页 |
| ·纳米压痕技术的广泛应用 | 第9-10页 |
| ·纳米压痕技术的研究现状概述 | 第10-31页 |
| ·纳米压痕技术的理论基础 | 第10-18页 |
| ·分析压痕测试数据所需了解的引入误差的因素 | 第18-31页 |
| ·纳米压痕技术在薄膜中的应用 | 第31-35页 |
| ·薄膜硬度分离模型 | 第31-33页 |
| ·薄膜弹性模量分离模型 | 第33-35页 |
| ·主成份分析法 | 第35-36页 |
| ·纳米压痕技术存在的问题 | 第36页 |
| ·研究内容与科学问题 | 第36-38页 |
| 第2章 实验部分 | 第38-40页 |
| ·实验仪器 | 第38页 |
| ·中频磁控溅射镀膜机 | 第38页 |
| ·纳米压痕仪 | 第38页 |
| ·白光干涉仪 | 第38页 |
| ·样品制备 | 第38-39页 |
| ·退火玻璃的制备 | 第38页 |
| ·薄膜样品的制备 | 第38-39页 |
| ·压痕实验部分 | 第39-40页 |
| ·退火玻璃的纳米压痕实验 | 第39页 |
| ·块体材料的实验 | 第39页 |
| ·钛膜的实验 | 第39-40页 |
| 第3章 纳米压痕仪卸载曲线在薄膜/基体系统中的应用 | 第40-49页 |
| ·退火玻璃的纳米压痕实验 | 第40-41页 |
| ·块体材料的分析结果 | 第41-42页 |
| ·钛膜的分析结果 | 第42-44页 |
| ·提高纳米压痕膜厚测试效率的新方法 | 第44-48页 |
| ·提高纳米压痕膜厚测试效率的新方法 | 第44-46页 |
| ·对于快速测试方法的一种标定方法 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 纳米压痕仪加载曲线在薄膜/基体系统中的应用 | 第49-63页 |
| ·连续刚度法分析膜基系统物理性质 | 第49-56页 |
| ·连续刚度曲线的描述 | 第49-52页 |
| ·基体性质 | 第52-53页 |
| ·薄膜性质 | 第53-56页 |
| ·图像分析法测试膜厚 | 第56-61页 |
| ·纳米压痕图像分析法测试膜厚的方法 | 第56-60页 |
| ·纳米压痕图像分析法的半经验证明 | 第60-61页 |
| ·迭代最小二乘法 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 结论 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第70-71页 |