| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-30页 |
| ·研究背景与意义 | 第10-11页 |
| ·碳基硬质薄膜的研究现状 | 第11-17页 |
| ·金刚石薄膜 | 第11-14页 |
| ·类金刚石薄膜 | 第14-17页 |
| ·多层膜技术 | 第17-29页 |
| ·多层膜结构模型 | 第18-19页 |
| ·多层膜材料体系 | 第19-25页 |
| ·纳米多层膜强化机制 | 第25-28页 |
| ·多层膜制备方法 | 第28-29页 |
| ·本论文研究内容 | 第29-30页 |
| 第2章 实验方案 | 第30-40页 |
| ·镀膜系统 | 第30-31页 |
| ·薄膜结构设计与镀膜工艺 | 第31-37页 |
| ·纳米调制多层Cr-C/a-C:Cr 复合膜结构设计与镀膜工艺 | 第31-34页 |
| ·纳米尺度梯度掺杂多层DLC 薄膜结构设计与镀膜工艺 | 第34-36页 |
| ·自润滑金刚石/类金刚石多层复合膜结构设计与镀膜工艺 | 第36-37页 |
| ·薄膜表征 | 第37-40页 |
| ·微观形貌 | 第37-38页 |
| ·结构和成分分析 | 第38页 |
| ·力学性能分析 | 第38-39页 |
| ·摩擦学性能分析 | 第39-40页 |
| 第3章 纳米调制多层Cr-C/a-C:Cr 复合膜 | 第40-49页 |
| ·薄膜的微观形貌 | 第40-42页 |
| ·薄膜的结构和成分 | 第42-45页 |
| ·薄膜的力学和摩擦学性能 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 纳米尺度梯度掺杂多层DLC 薄膜 | 第49-57页 |
| ·薄膜的微观形貌 | 第49-52页 |
| ·薄膜的结构和成分 | 第52-53页 |
| ·薄膜的结合力和摩擦学性能 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 自润滑金刚石/类金刚石多层复合膜 | 第57-67页 |
| ·薄膜的微观形貌 | 第57-58页 |
| ·薄膜的结构和成分 | 第58-60页 |
| ·薄膜的摩擦学性能 | 第60-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第6章 结论 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-80页 |
| 个人简历 | 第80-81页 |
| 在学期间研究成果 | 第81-82页 |
