大口径共焦轮廓仪设计及动态复合扫描方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-17页 |
| 1.2.1 国内大口径光学元件测量现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1.1 探针轮廓扫描法 | 第10-11页 |
| 1.2.1.2 光学干涉轮廓扫描法 | 第11-13页 |
| 1.2.2 高精度轮廓仪研究现状 | 第13-14页 |
| 1.2.3 共焦扫描测量技术现状 | 第14-17页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 连续曲面轮廓复合扫描算法 | 第19-33页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 共焦扫描测量原理 | 第19-22页 |
| 2.2.1 共焦扫描测量原理介绍 | 第19-21页 |
| 2.2.2 共焦轴向响应曲线获取 | 第21-22页 |
| 2.3 共焦扫描曲面轮廓测量方法比较 | 第22-32页 |
| 2.3.1 连续曲面步进式扫描轮廓测量 | 第22-25页 |
| 2.3.2 动态复合扫描轴向包络仿真 | 第25-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 大口径光学元件共焦轮廓测量系统 | 第33-49页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 系统整体结构设计思路 | 第33-38页 |
| 3.2.1 轮廓仪结构和高精度监测系统布局 | 第33-35页 |
| 3.2.2 轮廓仪共焦测头光路设计 | 第35-38页 |
| 3.3 系统运动控制模块 | 第38-44页 |
| 3.3.1 XY轴运动导轨与控制模式 | 第38-40页 |
| 3.3.2 Z轴测头运动与驱动 | 第40-41页 |
| 3.3.3 运动驱动与数据采集等硬件选型 | 第41-44页 |
| 3.4 共焦轮廓仪上位机软件系统 | 第44-48页 |
| 3.4.1 手动对心与预扫描模块程序 | 第44-46页 |
| 3.4.2 连续表面测量的数据处理模块 | 第46-47页 |
| 3.4.3 三维共焦轮廓测量模块 | 第47-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 大口径共焦轮廓仪误差模型分析 | 第49-63页 |
| 4.1 引言 | 第49-50页 |
| 4.2 X向导轨运动误差模型分析 | 第50-56页 |
| 4.2.1 X向导轨直线度运动误差影响 | 第50-51页 |
| 4.2.2 X向导轨角运动误差影响 | 第51-56页 |
| 4.3 Y向导轨运动误差模型分析 | 第56-59页 |
| 4.3.1 Y向导轨直线度误差影响分析 | 第56-57页 |
| 4.3.2 Y向导轨角运动误差影响分析 | 第57-59页 |
| 4.4 共焦测头运动误差模型分析 | 第59-61页 |
| 4.5 轮廓仪垂直度误差影响分析 | 第61-62页 |
| 4.6 本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 实验测量数据及分析 | 第63-76页 |
| 5.1 引言 | 第63页 |
| 5.2 三维微结构形貌测试 | 第63-66页 |
| 5.2.1 平面镜样品测试 | 第63-64页 |
| 5.2.2 微结构样品形貌测试 | 第64-66页 |
| 5.3 步进式扫描轮廓提取实验 | 第66-70页 |
| 5.3.1 仪器稳定性测试及平面轮廓测量 | 第66-68页 |
| 5.3.2 球面样品轮廓测量 | 第68-70页 |
| 5.4 复合运动轮廓测量实验 | 第70-75页 |
| 5.4.1 倾斜表面轮廓测量 | 第70-73页 |
| 5.4.2 球面样品轮廓测量 | 第73-75页 |
| 5.5 本章小结 | 第75-76页 |
| 结论 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
