| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 论文的研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-11页 |
| 1.3 研究目标及内容 | 第11-13页 |
| 1.3.1 研究目标 | 第11页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第11-12页 |
| 1.3.3 拟解决的关键问题 | 第12-13页 |
| 第2章 术语及工艺说明 | 第13-21页 |
| 2.1 术语 | 第13-15页 |
| 2.1.1 薄膜晶体管液晶显示器件（TFT -LCD） | 第13页 |
| 2.1.2 薄膜晶体管液晶显示器件（TFT -LCD）基本构造 | 第13-14页 |
| 2.1.3 光刻 | 第14页 |
| 2.1.4 光致抗蚀剂 | 第14-15页 |
| 2.2 TFT-LCD工艺过程 | 第15-16页 |
| 2.2.1 阵列工艺（ARRAY） | 第15-16页 |
| 2.2.2 彩色滤光片制造工艺（CF） | 第16页 |
| 2.2.3 成盒工程（CELL） | 第16页 |
| 2.2.4 模块工程（MODULE） | 第16页 |
| 2.3 研究对象及工艺流程 | 第16-18页 |
| 2.4 研究对象相关主要设备 | 第18-21页 |
| 2.4.1 生产流水线布局 | 第18-19页 |
| 2.4.2 工艺过程设备分析 | 第19-21页 |
| 第3章 光致抗蚀剂分析 | 第21-35页 |
| 3.1 光致抗蚀剂成分分析 | 第21-26页 |
| 3.1.1 阵列工艺中使用的光致抗蚀剂 | 第21页 |
| 3.1.2 彩色滤光片制造工艺中使用的光致抗蚀剂 | 第21-26页 |
| 3.1.3 光致抗蚀剂成分分析结论 | 第26页 |
| 3.2 单一组分职业病危害风险分析 | 第26-30页 |
| 3.2.1 有国标限值的组分限值及暴露情况 | 第26-28页 |
| 3.2.2 有国际参考标准的组分职业接触限值情况 | 第28-29页 |
| 3.2.3 单一组分职业病危害风险分析结论 | 第29-30页 |
| 3.3 挥发性混合物危害分析 | 第30-35页 |
| 3.3.1 挥发性有机物的定义 | 第30-32页 |
| 3.3.2 挥发性有机物的危害效应 | 第32-33页 |
| 3.3.3 挥发性有机物危害结论 | 第33-35页 |
| 第4章 现场检测及扩散情况 | 第35-49页 |
| 4.1 检测情况说明 | 第35页 |
| 4.1.1 检测指标选择 | 第35页 |
| 4.1.2 检测时间及生产状态 | 第35页 |
| 4.2 检测计划 | 第35-37页 |
| 4.2.1 检测设备 | 第35-36页 |
| 4.2.2 检测方法 | 第36-37页 |
| 4.3 检测结果 | 第37-41页 |
| 4.4 检测结果分析 | 第41-49页 |
| 4.4.1 MATLAB 软件函数计算 | 第42页 |
| 4.4.2 基于 MATLAB 的 VOCs 浓度扩散分布图 | 第42-43页 |
| 4.4.3 VOCs 浓度扩散分布图的分析 | 第43-49页 |
| 第5章 控制措施 | 第49-54页 |
| 5.1 源头控制 | 第49-50页 |
| 5.2 工艺控制 | 第50-51页 |
| 5.2.1 涂胶机（COATER）的密闭 | 第50页 |
| 5.2.2 增加有机废气回收 | 第50页 |
| 5.2.3 设备连接处的密闭处理 | 第50-51页 |
| 5.3 挥发性有机废气的末端治理 | 第51-54页 |
| 第6章 结论与展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
