| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 金刚石的晶体结构与性质 | 第10-12页 |
| 1.2.1 金刚石的晶体结构 | 第10-11页 |
| 1.2.2 金刚石的性质 | 第11-12页 |
| 1.3 纳米金刚石薄膜概述 | 第12-16页 |
| 1.3.1 纳米金刚石薄膜 | 第12-13页 |
| 1.3.2 纳米金刚石薄膜的制备 | 第13-14页 |
| 1.3.3 纳米金刚石薄膜的性能及应用 | 第14-16页 |
| 1.4 金刚石薄膜的性能表征 | 第16-19页 |
| 1.4.1 拉曼(Raman)光谱 | 第16页 |
| 1.4.2 扫描和透射电镜 | 第16-17页 |
| 1.4.3 X射线光电子能谱 | 第17页 |
| 1.4.4 原子力显微镜(AFM) | 第17-18页 |
| 1.4.5 X射线衍射(XRD) | 第18页 |
| 1.4.6 傅里叶红外线光谱仪 | 第18页 |
| 1.4.7 Hall效应测试仪 | 第18-19页 |
| 1.5 金刚石薄膜的掺杂 | 第19-21页 |
| 1.5.1 金刚石薄膜的p型掺杂 | 第20页 |
| 1.5.2 金刚石薄膜的n型掺杂 | 第20-21页 |
| 1.6 问题的提出与本文的研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 真空预退火对磷掺杂纳米金刚石薄膜微结构与电学性能的影响 | 第23-37页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 实验 | 第23-25页 |
| 2.2.1 纳米金刚石薄膜的制备 | 第23-24页 |
| 2.2.2 纳米金刚石薄膜的预退火、磷离子注入及再退火方案 | 第24-25页 |
| 2.3 真空预退火对磷掺杂纳米金刚石薄膜微结构与电学性能的影响 | 第25-35页 |
| 2.3.1 场发射扫描电子显微镜(FESEM)测试 | 第25-26页 |
| 2.3.2 高分辨透射电镜(HRTEM)测试 | 第26-27页 |
| 2.3.3 Raman光谱测试 | 第27-30页 |
| 2.3.4 Hall效应测试 | 第30-31页 |
| 2.3.5 变温两探针法电阻测试 | 第31-33页 |
| 2.3.6 X射线光电子能谱(XPS)分析 | 第33-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 衬底对磷离子注入纳米金刚石薄膜微结构和电学性能的影响 | 第37-48页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 实验 | 第37-38页 |
| 3.3 衬底对磷离子注入纳米金刚石薄膜微结构和电学性能的影响 | 第38-47页 |
| 3.3.1 Hall效应测试 | 第38-39页 |
| 3.3.2 变温两探针法电阻测试 | 第39-40页 |
| 3.3.3 拉曼光谱(Raman)测试 | 第40-44页 |
| 3.3.4 X射线光电子能谱分析 | 第44-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 不同表面态对磷离子注入纳米金刚石薄膜的微结构和电学性能的影响 | 第48-61页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 实验 | 第48-49页 |
| 4.3 不同表面态对磷离子注入纳米金刚石薄膜的微结构和电学性能的影响 | 第49-60页 |
| 4.3.1 Hall效应测试 | 第49-50页 |
| 4.3.2 场发射扫描电子显微镜(FESEM)测试 | 第50-51页 |
| 4.3.3 高分辨透射电子显微镜(HRTEM)测试 | 第51-52页 |
| 4.3.4 原子力显微镜(AFM)测试 | 第52-54页 |
| 4.3.5 Raman光谱测试 | 第54-56页 |
| 4.3.6 XPS分析 | 第56-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 结论 | 第61-63页 |
| 本文创新点 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
