| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 论文研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.1.1 分子测量机的研究目的 | 第8-9页 |
| 1.1.2 超精密温度控制技术的研究意义 | 第9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-13页 |
| 1.2.1 微纳测量仪器中温度控制技术的研究现状 | 第9-11页 |
| 1.2.2 温度控制理论的研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.3 温度测量技术的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 恒温装置结构设计和传热特性分析 | 第15-30页 |
| 2.1 分子测量机的总体结构设计 | 第15-18页 |
| 2.2 恒温装置的总体结构设计 | 第18-19页 |
| 2.3 恒温装置的传热特性分析 | 第19-29页 |
| 2.3.1 恒温装置的热源和传热过程分析 | 第19-22页 |
| 2.3.2 恒温装置的热辐射模型建立 | 第22-26页 |
| 2.3.3 恒温装置的热传导模型建立 | 第26-29页 |
| 2.3.4 恒温装置传热过程数值分析 | 第29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 恒温装置铂电阻温度传感器测量特性研究 | 第30-41页 |
| 3.1 铂电阻测温原理 | 第30-31页 |
| 3.2 恒温装置铂电阻测量电路 | 第31-32页 |
| 3.3 恒温装置铂电阻自热效应研究 | 第32-37页 |
| 3.3.1 恒温装置铂电阻的自热效应模型 | 第32-34页 |
| 3.3.2 基于脉冲电流法的自热效应抑制措施 | 第34-37页 |
| 3.4 恒温装置铂电阻非线性补偿 | 第37-40页 |
| 3.4.1 一般多项式拟合法 | 第37-38页 |
| 3.4.2 正交多项式拟合法 | 第38页 |
| 3.4.3 非线性补偿算法的实现 | 第38-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 恒温装置温度场数值模拟及其控制模型建立 | 第41-52页 |
| 4.1 恒温装置温度场数值模拟 | 第41-48页 |
| 4.1.1 恒温装置温度场物理模型建立 | 第41-44页 |
| 4.1.2 恒温装置温度场的均匀性 | 第44-45页 |
| 4.1.3 核心机构内热源对温度场的影响 | 第45-47页 |
| 4.1.4 恒温装置材料发射率对温度场的影响 | 第47-48页 |
| 4.1.5 温度控制壳尺寸对温度场的影响 | 第48页 |
| 4.2 恒温装置控制模型建立 | 第48-51页 |
| 4.2.1 恒温装置的控制模型 | 第48-50页 |
| 4.2.2 恒温装置执行机构的非线性模型 | 第50-51页 |
| 4.2.3 恒温装置加热特性的研究 | 第51页 |
| 4.3 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 恒温装置温度控制算法研究 | 第52-68页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 恒温装置温度控制算法的变论域思想 | 第52-54页 |
| 5.3 恒温装置变论域伸缩因子的设计 | 第54-58页 |
| 5.3.1 伸缩因子与量化因子及比例因子的关系 | 第54页 |
| 5.3.2 基于函数模型的伸缩因子设计 | 第54-56页 |
| 5.3.3 基于模糊规则的伸缩因子设计 | 第56-58页 |
| 5.4 恒温装置变论域基本模糊 PID 控制器的设计 | 第58-60页 |
| 5.5 恒温装置执行机构的设计 | 第60页 |
| 5.6 恒温装置变论域控制算法仿真分析 | 第60-67页 |
| 5.6.1 基于基本模糊 PID 控制算法仿真分析 | 第61-62页 |
| 5.6.2 基于函数模型伸缩因子变论域算法仿真分析 | 第62-64页 |
| 5.6.3 基于模糊规则伸缩因子变论域算法仿真分析 | 第64-66页 |
| 5.6.4 恒温装置变论域控制算法仿真结论 | 第66-67页 |
| 5.7 本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
