| 摘要 | 第10-11页 |
| ABSTRACT | 第11页 |
| 第一章 引言 | 第12-26页 |
| 1.1 石墨烯的发现 | 第12页 |
| 1.2 石墨烯的基本结构与性质 | 第12-15页 |
| 1.2.1 石墨烯的基本结构 | 第12-14页 |
| 1.2.2 石墨烯的特殊性质 | 第14-15页 |
| 1.3 石墨烯的制备、转移与表征 | 第15-21页 |
| 1.4 太赫兹与石墨烯等离子体波 | 第21-25页 |
| 1.4.1 太赫兹背景简介 | 第21-22页 |
| 1.4.2 等离子体波太赫兹器件 | 第22-25页 |
| 1.5 本论文主要研究内容与意义 | 第25-26页 |
| 第二章 光栅-谐振腔耦合的石墨烯等离子体波模型 | 第26-42页 |
| 2.1 石墨烯场效应晶体管模型 | 第26-28页 |
| 2.2 光栅-谐振腔耦合的石墨烯等离子体波器件结构 | 第28-31页 |
| 2.2.1 太赫兹耦合光栅 | 第29-30页 |
| 2.2.2 太赫兹Fabry-Pérot谐振腔 | 第30-31页 |
| 2.3 石墨烯等离子体波模型 | 第31-34页 |
| 2.4 时域有限差分方法简介 | 第34-36页 |
| 2.5 FDTD仿真模拟 | 第36-41页 |
| 2.5.1 光栅-谐振腔器件结构模拟仿真 | 第36-38页 |
| 2.5.2 光栅-谐振腔相结合下的石墨烯等离子体波吸收特性仿真 | 第38-41页 |
| 2.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 石墨烯等离子体波太赫兹器件的设计与加工 | 第42-53页 |
| 3.1 掩膜板设计 | 第42-43页 |
| 3.2 石墨烯层数与迁移率的表征 | 第43-44页 |
| 3.3 石墨烯等离子体波太赫兹器件的加工制备 | 第44-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 石墨烯等离子体波太赫兹器件的光电测试与分析 | 第53-75页 |
| 4.1 石墨烯材料及其器件漏电流测试 | 第53-55页 |
| 4.1.1 石墨烯Raman测试分析 | 第53页 |
| 4.1.2 石墨烯Hall迁移率测试分析 | 第53-54页 |
| 4.1.3 石墨烯场效应管顶栅漏电流测试 | 第54-55页 |
| 4.2 石墨烯场效应管电学测试与分析 | 第55-60页 |
| 4.2.1 石墨烯场效应管转移特性测试 | 第56-58页 |
| 4.2.2 石墨烯场效应管输出特性测试 | 第58-60页 |
| 4.3 石墨烯等离子体波太赫兹器件电学测试与分析 | 第60-64页 |
| 4.3.1 石墨烯等离子体波太赫兹器件顶栅漏电流测试 | 第60-61页 |
| 4.3.2 石墨烯等离子体波太赫兹器件转移特性测试 | 第61-64页 |
| 4.4 石墨烯太赫兹等离子体波调控的实验研究 | 第64-73页 |
| 4.4.1 石墨烯等离子体波调控实验方案 | 第64页 |
| 4.4.2 太赫兹时域光谱系统（THz-TDS） | 第64-66页 |
| 4.4.3 石墨烯等离子体波太赫兹器件透射谱测试 | 第66-73页 |
| 4.5 本章小结 | 第73-75页 |
| 第五章 结论与展望 | 第75-78页 |
| 5.1 本文主要结论 | 第75页 |
| 5.2 展望 | 第75-78页 |
| 致谢 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-85页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第85页 |
