光学非球面多方法组合测量技术研究
| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第12-21页 |
| 1.1 课题来源与意义 | 第12页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第12页 |
| 1.1.2 课题研究的背景与意义 | 第12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-20页 |
| 1.2.1 大型光学系统的多方法测量 | 第13-16页 |
| 1.2.2 面形检测数据的量化评价 | 第16-19页 |
| 1.2.3 测量方法互检的发展趋势 | 第19-20页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 凸非球面的背面透过补偿检验 | 第21-38页 |
| 2.1 补偿器设计与公差分析 | 第21-24页 |
| 2.1.1 背面透过补偿检验方案设计 | 第21-22页 |
| 2.1.2 补偿器加工公差分析 | 第22-24页 |
| 2.2 补偿检验系统的光学对准 | 第24-29页 |
| 2.2.1 间隙仪在补偿检验中的使用 | 第24-26页 |
| 2.2.2 点光源与补偿器的对准调整 | 第26-28页 |
| 2.2.3 补偿器与被测镜的对准调整 | 第28-29页 |
| 2.3 面形误差分离 | 第29-37页 |
| 2.3.1 加工装调测量精度的影响 | 第29-33页 |
| 2.3.2 面形制造偏差的修正 | 第33-36页 |
| 2.3.3 材料误差的影响 | 第36-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 凸非球面的可变补偿拼接测量 | 第38-47页 |
| 3.1 可变补偿器的装调机构设计 | 第38-42页 |
| 3.1.1 CGH板的调整设计 | 第39-41页 |
| 3.1.2 双转台的调整设计 | 第41-42页 |
| 3.2 测量系统的装调与误差自校准 | 第42-44页 |
| 3.2.1 测量光路布局 | 第42-43页 |
| 3.2.2 可变补偿装置的装调与误差自校准 | 第43页 |
| 3.2.3 被测镜的装调与误差自校准 | 第43-44页 |
| 3.3 可变补偿拼接测量实验研究 | 第44-46页 |
| 3.3.1 装置改进后的测量效果 | 第44-46页 |
| 3.3.2 拼接系统的后续优化 | 第46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 凸非球面的正面补偿检验 | 第47-52页 |
| 4.1 非球面补偿器透镜的设计 | 第47-48页 |
| 4.2 非球面透镜的补偿器设计 | 第48-50页 |
| 4.3 测量误差分析 | 第50-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 面形误差多方法测量的互检 | 第52-63页 |
| 5.1 面形误差曲面的最优匹配 | 第52-58页 |
| 5.1.1 面形匹配算法 | 第52-56页 |
| 5.1.2 算法匹配能力分析 | 第56-58页 |
| 5.2 多方法互检的量化评价指标 | 第58-61页 |
| 5.2.1 互检评价原理 | 第59-60页 |
| 5.2.2 互检评价分析 | 第60-61页 |
| 5.3 多方法互检的不确定度建模研究 | 第61-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 总结和展望 | 第63-65页 |
| 6.1 全文总结 | 第63页 |
| 6.2 研究展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第71页 |
