| 第一章 绪论 | 第8-23页 |
| 1.1 纳米级光滑表面及其加工方法 | 第8-16页 |
| 1.1.1 传统抛光加工法 | 第9页 |
| 1.1.2 利用新原理的超精密抛光加工法 | 第9-16页 |
| 1.1.3 超精密抛光加工技术现状分析及存在的主要问题 | 第16页 |
| 1.2 冰盘抛光金属材料纳米加工概述 | 第16-20页 |
| 1.2.1 低温技术在机械加工中的应用 | 第16-17页 |
| 1.2.2 冰盘抛光金属材料纳米加工方法 | 第17-20页 |
| 1.3 主要研究内容及意义 | 第20-23页 |
| 1.3.1 主要研究内容 | 第20-21页 |
| 1.3.2 研究意义 | 第21-23页 |
| 第二章 冰盘抛光金属材料纳米加工理论分析 | 第23-43页 |
| 2.1 从金属原子结构出发分析原子结合能 | 第24-31页 |
| 2.1.1 金属的原子结构 | 第24-26页 |
| 2.1.2 金属固体内电子的能量及原子结合能的近似计算 | 第26-31页 |
| 2.2 金属的晶体结构 | 第31-35页 |
| 2.2.1 理想金属的晶体结构与实际金属的晶体结构 | 第31-34页 |
| 2.2.2 试件抛光前的状态 | 第34-35页 |
| 2.3 金属的表面及表面能 | 第35-38页 |
| 2.3.1 表面驰豫作用 | 第35-36页 |
| 2.3.2 表面能 | 第36-38页 |
| 2.4 金属试件表面缺陷 | 第38-40页 |
| 2.4.1 表面位错与位错能 | 第38-39页 |
| 2.4.2 点缺陷与晶格畸变能 | 第39-40页 |
| 2.4.3 晶界缺陷与晶界能 | 第40页 |
| 2.5 冰盘抛光前经机械加工后的试件表面层 | 第40-42页 |
| 2.6 本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 冰盘抛光金属表面原子去除机理分析与实验验证 | 第43-70页 |
| 3.1 冰盘抛光中工件受力分析与机械能 | 第43-51页 |
| 3.1.1 抛光工件转速的确定 | 第43-44页 |
| 3.1.2 冰盘和工件间的摩擦力矩 | 第44-46页 |
| 3.1.3 压盖与压头之间的摩擦力矩 | 第46-50页 |
| 3.1.4 工件转速的理论计算 | 第50页 |
| 3.1.5 机械能的计算 | 第50-51页 |
| 3.2 被抛光试件晶体表面各种缺陷能及原子结合能的计算 | 第51-55页 |
| 3.2.1 LY12硬铝晶体缺陷能及原子间结合能的计算 | 第51-53页 |
| 3.2.2 YG6硬质合金晶体缺陷能及原子间结合能的计算 | 第53-54页 |
| 3.2.3 45钢晶体缺陷能及原子间结合能的计算 | 第54-55页 |
| 3.3 冰盘抛光过程中能量的消耗与冰的熔化热 | 第55-56页 |
| 3.4 冰盘抛光能量方程的建立与三种金属试件能量作用分析 | 第56-65页 |
| 3.4.1 冰盘抛光过程中的能量方程 | 第56-57页 |
| 3.4.2 硬铝LY12试件表面原子能量作用分析 | 第57-59页 |
| 3.4.3 YG6硬质合金试件表面原子能量作用分析 | 第59-62页 |
| 3.4.4 45钢试件表面原子能量作用分析 | 第62-64页 |
| 3.4.5 冰盘抛光去除机理的理论分析 | 第64-65页 |
| 3.5 冰盘抛光金属试件表面原子去除机理的实验验证 | 第65-68页 |
| 3.5.1 质谱仪检测基本原理 | 第65页 |
| 3.5.2 实验结果分析 | 第65-68页 |
| 3.5.3 冰盘抛光机理的实验分析 | 第68页 |
| 3.6 本章小结 | 第68-70页 |
| 第四章 冰盘抛光中金属试件表面原子迁移机理分析 | 第70-80页 |
| 4.1 金属原子表面振动 | 第70-73页 |
| 4.2 冰盘抛光过程中表面金属原子的迁移 | 第73-79页 |
| 4.3 本章小结 | 第79-80页 |
| 第五章 冰盘抛光金属材料的实验研究 | 第80-105页 |
| 5.1 实验设备及冰盘、工件盘的制备 | 第80-88页 |
| 5.1.1 实验设备 | 第80-81页 |
| 5.1.2 冰盘的制备 | 第81-82页 |
| 5.1.3 工件盘的制备 | 第82-83页 |
| 5.1.4 冰盘表面的预抛光 | 第83页 |
| 5.1.5 试件的预抛光及抛光后的表面处理 | 第83-84页 |
| 5.1.6 测量设备 | 第84-87页 |
| 5.1.7 采样区域 | 第87-88页 |
| 5.2 金属材料冰盘抛光纳米加工影响因素的实验研究 | 第88-103页 |
| 5.2.1 水质及主轴压力对金属材料冰盘抛光影响的实验研究 | 第88-90页 |
| 5.2.2 冰盘转速对金属材料表面粗糙度影响的实验研究 | 第90-97页 |
| 5.2.3 偏心量对表面粗糙度影响的实验研究 | 第97-98页 |
| 5.2.4 抛光时间对表面粗糙度影响的实验研究 | 第98-103页 |
| 5.3 本章小结 | 第103-105页 |
| 结论 | 第105-107页 |
| 参考文献 | 第107-114页 |
| 致谢 | 第114-115页 |
| 作者在攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第115-116页 |
| 作者在攻读博士学位期间参与的课题 | 第116-117页 |
| 摘要 | 第117-120页 |
| BSTRACT | 第120页 |
