大面积PCB投影扫描式激光曝光机的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| Content | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| ·本课题的研究背景 | 第11-13页 |
| ·传统的光学曝光技术 | 第13-16页 |
| ·接触式成像技术 | 第13-14页 |
| ·接近式成像技术 | 第14-15页 |
| ·步进重复成像技术 | 第15页 |
| ·激光直接成像技术 | 第15-16页 |
| ·LPI激光投影成像技术 | 第16-17页 |
| ·本论文的研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 整机的主要性能指标 | 第18-21页 |
| ·光刻分辨力 | 第18页 |
| ·光刻焦深 | 第18-19页 |
| ·生产效率 | 第19-20页 |
| ·小结 | 第20-21页 |
| 第三章 准分子激光微加工技术 | 第21-28页 |
| ·准分子激光微细加工的特点 | 第21-22页 |
| ·单光子能量高 | 第21-22页 |
| ·峰值功率高 | 第22页 |
| ·分辨力高 | 第22页 |
| ·准分子激光器的原理 | 第22-24页 |
| ·TOL型XeF激光器的光束质量 | 第24-26页 |
| ·小结 | 第26-28页 |
| 第四章 曝光机的光学系统 | 第28-37页 |
| ·光学照明系统 | 第29-34页 |
| ·光学设计 | 第30-31页 |
| ·光束的均匀性 | 第31-32页 |
| ·照明系统的机械制造 | 第32-34页 |
| ·光学投影系统 | 第34-36页 |
| ·光学设计 | 第34-35页 |
| ·投影系统的机械制造 | 第35-36页 |
| ·投影系统与照明系统的匹配 | 第36页 |
| ·小结 | 第36-37页 |
| 第五章 X-Y移动工作台的设计 | 第37-44页 |
| ·六角形无接缝扫描技术 | 第37-38页 |
| ·精密工作台的设计结构 | 第38-42页 |
| ·工作台的主要性能指标 | 第38页 |
| ·工作台的设计结构 | 第38-39页 |
| ·驱动电机的选择 | 第39-40页 |
| ·电控系统设计 | 第40-42页 |
| ·机械部分与光学部分的匹配 | 第42-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 第六章 光刻实验及结果 | 第44-51页 |
| ·光刻工艺流程 | 第44-45页 |
| ·投影扫描曝光实验 | 第45-50页 |
| ·光刻胶 | 第45-46页 |
| ·实验前的准备 | 第46-47页 |
| ·实验步骤及结果 | 第47-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 结论 | 第51-54页 |
| 主要参考文献 | 第54-57页 |
| 发表的学术论文及申请的专利 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
