集成角度传感器的MOEMS扫描微镜研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| ·引言 | 第8-10页 |
| ·MOEMS 扫描微镜国内外研究现状 | 第10-16页 |
| ·静电式扫描微镜 | 第10-11页 |
| ·电热式扫描微镜 | 第11-13页 |
| ·压电式扫描微镜 | 第13-14页 |
| ·电磁式扫描微镜 | 第14-16页 |
| ·论文的研究意义及主要内容 | 第16-18页 |
| ·论文的研究意义 | 第16-17页 |
| ·论文主要研究内容 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 2 集成角度传感器的扫描微镜理论分析与结构设计 | 第19-35页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·集成角度传感器的扫描微镜结构与工作原理 | 第19-21页 |
| ·驱动方式选择 | 第19页 |
| ·集成角度传感器的扫描微镜结构与工作原理 | 第19-21页 |
| ·集成角度传感器的扫描微镜理论模型 | 第21-24页 |
| ·扫描微镜运动模型 | 第21-22页 |
| ·电磁驱动器理论模型 | 第22-23页 |
| ·角度传感器理论模型 | 第23-24页 |
| ·扫描微镜的结构设计、优化与性能仿真 | 第24-34页 |
| ·ANSYS 有限元分析流程 | 第25页 |
| ·扫描微镜有限元模型 | 第25-26页 |
| ·扫描微镜结构优化设计 | 第26-29页 |
| ·扫描微镜性能仿真 | 第29-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 3 扫描微镜的加工和封装 | 第35-47页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·扫描微镜加工版图设计 | 第35-36页 |
| ·扫描微镜关键加工工艺 | 第36-41页 |
| ·各向异性湿法刻蚀 | 第36-39页 |
| ·电镀工艺 | 第39-41页 |
| ·扫描微镜加工流程 | 第41-42页 |
| ·扫描微镜封装设计 | 第42-46页 |
| ·永磁体磁路设计 | 第42-43页 |
| ·有限元磁场分析 | 第43-45页 |
| ·扫描微镜封装设计 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 4 驱动控制电路设计 | 第47-56页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·扫描微镜驱动控制电路总体设计 | 第47-48页 |
| ·各模块设计 | 第48-53页 |
| ·信号发生模块 | 第48-50页 |
| ·角度检测模块 | 第50-52页 |
| ·反馈控制模块 | 第52页 |
| ·可变增益放大模块 | 第52-53页 |
| ·驱动控制电路测试 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 5 扫描微镜性能测试 | 第56-62页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·扫描微镜性能测试系统 | 第56-57页 |
| ·扫描微镜谐振频率测试 | 第57-58页 |
| ·微镜扫描角度测试 | 第58-60页 |
| ·角度传感器测试 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 6 总结与展望 | 第62-64页 |
| ·论文主要工作内容 | 第62页 |
| ·进一步工作与展望 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 附录 | 第68页 |
| A 硕士期间发表论文 | 第68页 |
| B 硕士期间申请专利 | 第68页 |
