| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 光纤法珀传感器类型及现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 本征型光纤法珀传感器 | 第10-11页 |
| 1.2.2 非本征型光纤法珀传感器 | 第11-13页 |
| 1.2.3 光纤法珀压力传感器国内外研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 传感器信号质量与稳定性研究现状 | 第14-16页 |
| 1.4 课题的研究意义及内容 | 第16-17页 |
| 第二章 光纤法珀压力传感原理 | 第17-28页 |
| 2.1 光纤法珀压力传感理论 | 第17-18页 |
| 2.2 光纤法珀压力传感器的优化设计及特性研究 | 第18-23页 |
| 2.2.1 光纤法珀压力传感器 | 第18-19页 |
| 2.2.2 传感头法珀腔光束传输模型 | 第19-22页 |
| 2.2.3 传感头尺寸参数设计及硅膜片力学特性研究 | 第22-23页 |
| 2.3 光纤法珀压力传感器MEMS键合机理研究 | 第23-27页 |
| 2.3.1 MEMS阳极键合 | 第24页 |
| 2.3.2 光纤法珀压力传感头MEMS键合工艺流程 | 第24-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 光纤法珀压力传感器信号质量及其解调结果影响研究 | 第28-44页 |
| 3.1 光纤法珀压力传感器信号质量评价指标及其理论研究 | 第28-35页 |
| 3.1.1 光纤法珀压力传感器信号质量评价指标——信噪比 | 第28-30页 |
| 3.1.2 不同信噪比下传感解调干涉级次跳变影响研究 | 第30-34页 |
| 3.1.3 不同信噪比下传感解调绝对相位的理论研究 | 第34-35页 |
| 3.2 光纤珐珀压力传感器信号质量对压力解调结果影响实验研究 | 第35-43页 |
| 3.2.1 空间扫描型偏振低相干干涉传感解调实验系统 | 第35-39页 |
| 3.2.2 干涉级次和解调绝对相位随传感器信噪比的变化实验研究 | 第39-41页 |
| 3.2.3 压力解调误差随传感器信噪比变化的实验研究 | 第41-43页 |
| 3.3 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 光纤法珀压力传感器稳定性研究 | 第44-59页 |
| 4.1 残余气压和热应力对光纤法珀压力传感器膜片形变的影响研究 | 第44-45页 |
| 4.1.1 残余气压的影响研究 | 第44-45页 |
| 4.1.2 热应力的影响研究 | 第45页 |
| 4.2 光纤法珀压力传感器稳定性影响机理研究 | 第45-47页 |
| 4.3 提高光纤法珀压力传感器稳定性的老化实验研究 | 第47-58页 |
| 4.3.1 传感器温度老化及效果研究 | 第47-52页 |
| 4.3.2 传感器压力老化及效果研究 | 第52-55页 |
| 4.3.3 传感器温度压力复合老化及效果研究 | 第55-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 5.1 工作总结 | 第59-60页 |
| 5.2 展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
