| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-27页 |
| 1.1 课题来源及研究的背景和意义 | 第9-13页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第9-10页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第10-13页 |
| 1.2 国内外在该方向的研究现状及分析 | 第13-25页 |
| 1.2.1 PDCs材料的制备 | 第13-16页 |
| 1.2.2 PDCs材料的结构的演化 | 第16-19页 |
| 1.2.3 PDCs的性能 | 第19-22页 |
| 1.2.4 PDCs材料在MEMS/传感器方面的应用 | 第22-24页 |
| 1.2.5 国内外文献综述 | 第24-25页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第25-27页 |
| 第2章 实验材料与实验方法 | 第27-33页 |
| 2.1 实验原料与试剂 | 第27页 |
| 2.2 SiAlCN有机先驱体与坯体的制备 | 第27-28页 |
| 2.2.1 SiAlCN有机先驱体的制备 | 第27页 |
| 2.2.2 SiAlCN有机先驱体坯体的制备 | 第27-28页 |
| 2.3 SiAlCN陶瓷敏感材料的制备 | 第28-29页 |
| 2.3.1 SiAlCN陶瓷敏感材料电极的选择 | 第28页 |
| 2.3.2 SiAlCN陶瓷敏感材料坯体的制备 | 第28-29页 |
| 2.3.3 SiAlCN陶瓷敏感材料制备 | 第29页 |
| 2.4 SiAlCN陶瓷敏感材料的性能测试 | 第29页 |
| 2.4.1 SiAlCN陶瓷敏感材料的温阻特性及导电机理 | 第29页 |
| 2.4.2 温度循环/保温对SiAlCN陶瓷敏感材料电性能影响 | 第29页 |
| 2.5 分析测试方法 | 第29-33页 |
| 2.5.1 组成与结构分析 | 第29-30页 |
| 2.5.2 理化性能分析 | 第30-32页 |
| 2.5.3 微观形貌分析 | 第32-33页 |
| 第3章 SiAlCN敏感材料的制备 | 第33-51页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 SiAlCN有机先驱体的制备 | 第33-38页 |
| 3.2.1 SiAlCN有机先驱体合成温度及时间 | 第33-35页 |
| 3.2.2 PSN-1 和AlP质量配比确定 | 第35-37页 |
| 3.2.3 SiAlCN有机先驱体的化学键分析 | 第37-38页 |
| 3.3 SiAlCN陶瓷坯体的制备 | 第38-43页 |
| 3.3.1 SiAlCN先驱体固、液配比确定 | 第38-40页 |
| 3.3.2 压力对SiAlCN陶瓷坯体密度影响 | 第40-42页 |
| 3.3.3 非晶SiAlCN陶瓷的烧结温度的选择 | 第42-43页 |
| 3.4 SiAlCN陶瓷敏感材料的制备 | 第43-49页 |
| 3.4.1 电极材料的选择 | 第43-46页 |
| 3.4.2 电极的连接方式 | 第46-48页 |
| 3.4.3 SiAlCN陶瓷敏感材料的制备 | 第48-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 SiAlCN陶瓷敏感材料的电性能 | 第51-69页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 SiAlCN敏感材料电性能测试原理 | 第51-54页 |
| 4.2.1 SiAlCN敏感材料的电阻测试 | 第51-52页 |
| 4.2.2 SiAlCN敏感材料恒速率升降温温度场分布 | 第52-54页 |
| 4.3 SiAlCN陶瓷敏感材料的电性能 | 第54-68页 |
| 4.3.1 SiCN、SiAlCN陶瓷敏感材料的导电机制 | 第54-59页 |
| 4.3.2 同批次SiCN、SiAlCN敏感材料的温阻特性 | 第59-62页 |
| 4.3.3 温度循环对SiCN、SiAlCN敏感材料的影响 | 第62-66页 |
| 4.3.4 温度保温对SiAlCN陶瓷敏感材料的影响 | 第66-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
