| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-10页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 摩擦、磨损与润滑 | 第11-13页 |
| 1.2.1 摩擦与摩擦机理 | 第11-12页 |
| 1.2.2 摩擦与磨损机理 | 第12页 |
| 1.2.3 润滑与润滑剂 | 第12-13页 |
| 1.3 固体润滑 | 第13-15页 |
| 1.3.1 固体润滑的定义 | 第13页 |
| 1.3.2 固体润滑剂的分类 | 第13页 |
| 1.3.3 固体润滑剂的特性和优缺点 | 第13-15页 |
| 1.4 MoS_2薄膜概述 | 第15-20页 |
| 1.4.1 MoS_2的结构与性能 | 第15页 |
| 1.4.2 MoS_2的应用 | 第15-16页 |
| 1.4.3 MoS_2固体润滑薄膜的制备方法 | 第16-17页 |
| 1.4.4 MoS_2薄膜的固体润滑机理 | 第17-18页 |
| 1.4.5 MoS_2薄膜存在的问题及其研究现状 | 第18-20页 |
| 1.5 选题依据和研究内容 | 第20-21页 |
| 1.5.1 选题依据 | 第20页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 MoS_2基复合薄膜的制备与表征 | 第21-29页 |
| 2.1 实验材料及设备 | 第21-22页 |
| 2.2 样品制备工艺 | 第22-23页 |
| 2.2.1 取样放样操作步骤 | 第22页 |
| 2.2.2 抽真空操作步骤 | 第22页 |
| 2.2.3 薄膜的制备工艺 | 第22-23页 |
| 2.3 薄膜的表征 | 第23-28页 |
| 2.3.1 薄膜表面形貌分析 | 第23页 |
| 2.3.2 薄膜结构及组分的表征 | 第23-27页 |
| 2.3.3 薄膜的力学性能与摩擦学性能表征 | 第27-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 Mo-S-C复合薄膜的制备及其微观结构与摩擦学性能的研究 | 第29-43页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 实验内容 | 第29-30页 |
| 3.2.1 Mo-S-C复合薄膜的制备 | 第29-30页 |
| 3.2.2 Mo-S-C复合薄膜的结构与性能测试 | 第30页 |
| 3.3 实验结果与讨论 | 第30-42页 |
| 3.3.1 Mo-S-C复合薄膜的化学组成与结构 | 第30-34页 |
| 3.3.2 Mo-S-C复合薄膜的机械性能 | 第34-35页 |
| 3.3.3 Mo-S-C复合薄膜的摩擦学性能 | 第35-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 Mo-S-N复合薄膜的制备及其微观结构与摩擦学性能的研究 | 第43-53页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 实验内容 | 第43-44页 |
| 4.2.1 Mo-S-N复合薄膜的制备 | 第43页 |
| 4.2.2 Mo-S-N复合薄膜的结构和性能测试 | 第43-44页 |
| 4.3 实验结果与讨论 | 第44-51页 |
| 4.3.1 Mo-S-N复合薄膜化学组成与结构 | 第44-49页 |
| 4.3.2 Mo-S-N复合薄膜的机械性能 | 第49-50页 |
| 4.3.3 Mo-S-N复合薄膜的摩擦学性能 | 第50-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-53页 |
| 第5章 Mo-S-C-N复合薄膜的制备及其微观结构与摩擦学性能的研究 | 第53-70页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 实验内容 | 第53-54页 |
| 5.2.1 Mo-S-C-N复合薄膜的制备 | 第53页 |
| 5.2.2 Mo-S-C-N复合薄膜的结构和性能测试 | 第53-54页 |
| 5.3 实验结果与讨论 | 第54-69页 |
| 5.3.1 Mo-S-C-N复合薄膜化学组成与结构 | 第54-63页 |
| 5.3.2 Mo-S-C-N复合薄膜的机械性能 | 第63-64页 |
| 5.3.3 Mo-S-C-N复合薄膜的摩擦学性能 | 第64-69页 |
| 5.4 本章小结 | 第69-70页 |
| 结论 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 附录A 攻读学位期间所发表的学术论文目录 | 第80页 |
