| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 光干涉移相法表面三维测量原理 | 第11-16页 |
| 1.2.1 表面三维测量概述 | 第11-12页 |
| 1.2.2 光干涉移相法原理 | 第12-16页 |
| 1.3 研究现状及趋势 | 第16-17页 |
| 1.4 本文研究内容与章节安排 | 第17-19页 |
| 2 硬件平台的搭建及系统标定 | 第19-30页 |
| 2.1 系统测量原理及硬件平台的搭建 | 第19-26页 |
| 2.2 测量系统标定实验 | 第26-29页 |
| 2.3 本章小结 | 第29-30页 |
| 3 光干涉移相法采集实验 | 第30-35页 |
| 3.1 定步长N帧满周期相移法 | 第30-31页 |
| 3.2 基于四步移相法的干涉图采集实验 | 第31-34页 |
| 3.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 4 解包裹算法对比分析 | 第35-50页 |
| 4.1 解包裹算法原理 | 第35-39页 |
| 4.2 行列逐点算法 | 第39-42页 |
| 4.3 最小范数法 | 第42-45页 |
| 4.3.1 无加权最小二乘法 | 第42-44页 |
| 4.3.2 加权最小二乘法 | 第44-45页 |
| 4.4 路径跟踪法 | 第45-49页 |
| 4.4.1 枝切法 | 第45-47页 |
| 4.4.2 质量引导路径法 | 第47-49页 |
| 4.5 几种典型去包裹算法结果对比 | 第49页 |
| 4.6 本章小结 | 第49-50页 |
| 5 包裹相位的噪声去除及其改善方法 | 第50-62页 |
| 5.1 包裹相位噪声分析 | 第50-51页 |
| 5.2 基于图像滤波理论的包裹相位噪声去除分析 | 第51-53页 |
| 5.3 基于拟合及插值的理想包裹相位重建 | 第53-61页 |
| 5.3.1 思路分析及算法提出 | 第53-55页 |
| 5.3.2 相位数据区间段划分 | 第55-57页 |
| 5.3.3 基于最小二乘法的拟合原理及实验 | 第57-59页 |
| 5.3.4 端点相位修正及基于样条插值的理想相位重建 | 第59-60页 |
| 5.3.5 实验结果分析 | 第60-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 6 芯片表面合格性检验方案 | 第62-74页 |
| 6.1 检验方案的分析 | 第62-64页 |
| 6.2 质检方案的确立 | 第64-66页 |
| 6.3 合格性判定实验 | 第66-70页 |
| 6.3.1 包裹相位现象判定 | 第66-69页 |
| 6.3.2 平整度判定 | 第69-70页 |
| 6.4 实验结果对比及验证 | 第70-73页 |
| 6.4.1 测量系统稳定性 | 第70-71页 |
| 6.4.2 测量系统准确性 | 第71-73页 |
| 6.5 结果与分析 | 第73页 |
| 6.6 本章小结 | 第73-74页 |
| 7 总结与展望 | 第74-75页 |
| 7.1 总结 | 第74页 |
| 7.2 展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 发表论文与专利 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |