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钙钛矿异质结构的制备和阻变存储性能研究

摘要第3-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第11-26页
    1.1 钙钛矿氧化物简介第11-12页
    1.2 CaMnO_3的多铁性研究第12-14页
        1.2.1 钙钛矿氧化物的多铁性第13-14页
        1.2.2 CaMnO_3的多铁性机制第14页
    1.3 钙钛矿氧化物的存储性能研究第14-20页
        1.3.1 阻变存储器第15-17页
        1.3.2 磁隧道结和自旋过滤隧道结第17-18页
        1.3.3 多铁隧道结第18-20页
    1.4 课题研究的意义及主要内容第20-22页
    参考文献第22-26页
第二章 实验设备与研究方法第26-38页
    2.1 脉冲激光沉积技术第26-31页
        2.1.1 脉冲激光沉积的原理第26-28页
        2.1.2 靶材制备及衬底处理第28-31页
    2.2 样品的微加工工艺第31-32页
    2.3 样品的表征与分析技术第32-36页
        2.3.1 结构表征第32-34页
        2.3.2 铁电极化性质测试第34-35页
        2.3.3 电磁性质测试第35-36页
    2.4 本章小结第36-37页
    参考文献第37-38页
第三章 CaMnO_3薄膜多铁性的研究第38-44页
    3.1 CaMnO_3薄膜的制备第38-39页
    3.2 CaMnO_3薄膜的结构表征第39-40页
        3.2.1 XRD分析第39-40页
        3.2.2 AFM表征第40页
    3.3 CaaMnO_3薄膜的性能表征第40-42页
    3.4 本章小结第42-43页
    参考文献第43-44页
第四章 Pt/TiO_2/LaAlO_3/Pt器件的阻变研究第44-54页
    4.1 TiO_2/LaAlO_3异质结的制备第44-45页
    4.2 TiO_2/LaAlO_3异质结的结构表征第45-46页
    4.3 TiO_2/LaAlO_3异质结的阻变分析第46-51页
        4.3.1 TiO_2的阻变性质第46-47页
        4.3.2 TiO_2/LaAlO_3的阻变性质第47-50页
        4.3.3 LaAlO_3厚度对阻变性质的影响第50-51页
    4.4 本章小结第51-53页
    参考文献第53-54页
第五章 全氧化物自旋过滤隧道结的研究第54-64页
    5.1 全氧化物隧道结的制备第54-56页
        5.1.1 薄膜样品的制备第54-55页
        5.1.2 隧道结微结构的制备第55-56页
    5.2 SrRuO_3/Pr_(0.8)Ca_(0.2)MnO_3/SrTiO_3/La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3隧道结的结构和性能第56-59页
        5.2.1 AFM形貌表征第56页
        5.2.2 磁学性能表征第56-58页
        5.2.3 电学性能表征第58-59页
    5.3 SrRuO_3/Pr_(0.8)Ca_(0.2)MnO_3/BaTiO_3/La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3隧道结的初步研究第59-62页
    5.4 本章小结第62-63页
    参考文献第63-64页
第六章 总结与展望第64-66页
硕士期间发表文章第66-67页
致谢第67-68页

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