基于激光干涉技术的透镜厚度精密检测方法研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 本文研究内容 | 第14-15页 |
| 2 透镜中心厚度检测原理及主要器件的选择 | 第15-24页 |
| 2.1 透镜中心厚度检测系统原理和组成 | 第15-19页 |
| 2.1.1 透镜中心厚度检测系统原理 | 第15-17页 |
| 2.1.2 透镜中心厚度检测系统组成 | 第17-19页 |
| 2.2 仪器硬件的选择 | 第19-23页 |
| 2.2.1 迈克尔逊型干涉仪元器件的选择 | 第19-21页 |
| 2.2.2 导轨及运动控制器的选择 | 第21-22页 |
| 2.2.3 采集卡的选择 | 第22-23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-24页 |
| 3 干涉信号的提取 | 第24-29页 |
| 3.1 提高干涉信号的强度 | 第24-26页 |
| 3.2 噪声的抑制 | 第26-27页 |
| 3.3 采样频率的选择 | 第27-28页 |
| 3.4 本章总结 | 第28-29页 |
| 4 干涉信号波峰定位方法 | 第29-36页 |
| 4.1 干涉信号的预处理 | 第29-32页 |
| 4.2 干涉信号波峰的初定位 | 第32-33页 |
| 4.3 干涉信号波峰的准确定位 | 第33-35页 |
| 4.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 5 透镜中心厚度自动检测仪及实验结果分析 | 第36-45页 |
| 5.1 透镜中心厚度检测硬件组成 | 第36-38页 |
| 5.2 透镜中心厚度自动检测软件实现 | 第38-40页 |
| 5.3 透镜中心厚度检测结果 | 第40-41页 |
| 5.4 误差分析 | 第41-44页 |
| 5.4.1 干涉仪的自身精度估算 | 第41-42页 |
| 5.4.2 导轨精度估算 | 第42-43页 |
| 5.4.3 测厚仪精度估算及测量范围 | 第43-44页 |
| 5.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 6 总结与展望 | 第45-48页 |
| 6.1 本文工作总结 | 第45-47页 |
| 6.2 未来工作展望 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-53页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
