| 摘要 | 第11-13页 |
| Abstract | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第15-31页 |
| 1.1 CaB_6的结构、特性及应用 | 第15-19页 |
| 1.1.1 CaB_6的晶体结构 | 第16页 |
| 1.1.2 电子结构 | 第16-17页 |
| 1.1.3 CaB_6的磁学性能 | 第17-18页 |
| 1.1.4 CaB_6的应用 | 第18-19页 |
| 1.2 CaB_6的研究现状 | 第19-25页 |
| 1.2.1 CaB_6多晶块体的研究现状 | 第19-20页 |
| 1.2.2 CaB_6粉末的研究现状 | 第20-23页 |
| 1.2.3 CaB_6薄膜的研究现状 | 第23页 |
| 1.2.4 CaB_6的理论研究现状 | 第23-25页 |
| 1.3 CaB_6薄膜的制备方法 | 第25-27页 |
| 1.3.1 物理气相沉积法(PVD) | 第25-26页 |
| 1.3.2 化学气相沉积法(CVD) | 第26-27页 |
| 1.3.3 薄膜外延技术 | 第27页 |
| 1.4 薄膜的生长机制 | 第27-29页 |
| 1.4.1 薄膜的生长过程 | 第27-28页 |
| 1.4.2 薄膜的生长模型 | 第28页 |
| 1.4.3 磁控溅射薄膜生长的影响因素 | 第28-29页 |
| 1.5 研究目的、意义与内容 | 第29-31页 |
| 第二章 实验方案及研究方法 | 第31-43页 |
| 2.1 技术路线及研究方案 | 第31页 |
| 2.2 实验原材料 | 第31-34页 |
| 2.2.1 靶材原材料 | 第31-33页 |
| 2.2.2 基底材料 | 第33-34页 |
| 2.3 靶材制备工艺 | 第34-35页 |
| 2.4 CaB_6薄膜的制备 | 第35-36页 |
| 2.5 CaB_6薄膜的组织结构及性能表征 | 第36-43页 |
| 2.5.1 CaB_6薄膜的组织结构表征 | 第36-40页 |
| 2.5.2 CaB_6薄膜的形貌表征 | 第40-41页 |
| 2.5.3 CaB_6薄膜的磁性测试 | 第41-43页 |
| 第三章 CaB_6薄膜的成分及结构形貌研究 | 第43-53页 |
| 3.1 CaB_6薄膜的成分分析 | 第43-46页 |
| 3.1.1 CaB_6薄膜的XPS全谱分析 | 第43-44页 |
| 3.1.2 CaB_6薄膜的XPS特征谱分析 | 第44-46页 |
| 3.1.3 CaB_6薄膜的元素含量分析 | 第46页 |
| 3.2 CaB_6薄膜的组织形貌表征 | 第46-52页 |
| 3.2.1 常温下四种薄膜的成分测试结果 | 第46-47页 |
| 3.2.2 CaB_6薄膜的形貌表征 | 第47-50页 |
| 3.2.3 CaB_6薄膜的组织结构分析 | 第50页 |
| 3.2.4 CaB_6薄膜的厚度分析 | 第50-52页 |
| 3.3 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 CaB_6薄膜晶化及生长机制探究 | 第53-69页 |
| 4.1 CaB_6薄膜的热分析 | 第53-54页 |
| 4.2 退火温度对不同成分CaB_6薄膜生长影响 | 第54-59页 |
| 4.2.1 对CaB_(4.85)薄膜生长的影响 | 第54-55页 |
| 4.2.2 对CaB_(5.80)薄膜生长的影响 | 第55-57页 |
| 4.2.3 对CaB_(5.88)薄膜生长的影响 | 第57-58页 |
| 4.2.4 对CaB_(6.80)薄膜生长的影响 | 第58-59页 |
| 4.3 基底温度对CaB_(5.88)薄膜生长的影响 | 第59-61页 |
| 4.4 两种不同晶化机制对薄膜生长的影响 | 第61-62页 |
| 4.5 CaB_(5.88)薄膜晶化后的结构形貌分析 | 第62-66页 |
| 4.5.1 薄膜的结晶性分析 | 第62-63页 |
| 4.5.2 薄膜的物相与结构分析 | 第63-64页 |
| 4.5.3 薄膜的组织形貌分析 | 第64-66页 |
| 4.6 本章小结 | 第66-69页 |
| 第五章 温度对CaB_6薄膜磁性影响的研究 | 第69-77页 |
| 5.1 晶化温度对薄膜磁性的影响 | 第69-74页 |
| 5.1.1 对CaB_(4.85)薄膜磁性的影响 | 第69-71页 |
| 5.1.2 对CaB_(5.80)薄膜磁性的影响 | 第71-72页 |
| 5.1.3 对CaB_(5.88)薄膜磁性的影响 | 第72-73页 |
| 5.1.4 对CaB_(6.80)薄膜磁性的影响 | 第73-74页 |
| 5.2 基底温度对CaB_(5.88)薄膜磁性的影响 | 第74-75页 |
| 5.3 不同温度机制下薄膜磁性的对比 | 第75-76页 |
| 5.4 本章小结 | 第76-77页 |
| 第六章 结论 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-87页 |
| 致谢 | 第87-89页 |
| 附录 | 第89-90页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第90页 |
