斐索型移相式激光干涉仪研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| ·斐索激光干涉仪国内外发展现状 | 第11-19页 |
| ·国外发展现状 | 第11-15页 |
| ·国内发展现状 | 第15-19页 |
| ·论文主要研究工作 | 第19-21页 |
| 第2章 Φ100mm 斐索型移相式激光干涉仪设计 | 第21-30页 |
| ·斐索移相干涉原理 | 第21-24页 |
| ·移相算法 | 第21-23页 |
| ·移相算法优点 | 第23-24页 |
| ·常见的移相方式 | 第24-28页 |
| ·压电晶体法 | 第24-25页 |
| ·倾斜玻璃法 | 第25-26页 |
| ·光栅衍射法 | 第26页 |
| ·声光调制法 | 第26-27页 |
| ·偏振移相法 | 第27页 |
| ·波长调谐移相法 | 第27-28页 |
| ·Φ100mm 斐索型移相式激光干涉仪系统 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 干涉仪光学系统设计与仿真 | 第30-53页 |
| ·光源的选择 | 第30页 |
| ·扩束准直系统设计 | 第30-39页 |
| ·第一级10 倍扩束系统设计 | 第31-33页 |
| ·第二级扩束系统设计 | 第33-39页 |
| ·平面和球面参考镜设计 | 第39-43页 |
| ·平面参考镜设计 | 第39-40页 |
| ·球面参考镜设计 | 第40-43页 |
| ·旋转毛玻璃作用和设计 | 第43-44页 |
| ·干涉仪光学系统集成 | 第44-47页 |
| ·平面和球面干涉系统仿真 | 第47-52页 |
| ·平面干涉系统仿真 | 第48-50页 |
| ·球面干涉系统仿真 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 干涉图像采集与预处理 | 第53-62页 |
| ·CCD 选型 | 第53-54页 |
| ·CCD 感光面与成像镜头的匹配 | 第54-55页 |
| ·图像采集卡选型 | 第55-56页 |
| ·干涉条纹预处理 | 第56-60页 |
| ·均值滤波原理 | 第57页 |
| ·中值滤波原理 | 第57-58页 |
| ·均值滤波和中值滤波对比 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第5章 移相干涉波面复原算法实现 | 第62-88页 |
| ·移相干涉相位提取算法 | 第62-64页 |
| ·定步长移相算法 | 第62-63页 |
| ·等步长移相算法 | 第63-64页 |
| ·移相算法误差分析 | 第64-71页 |
| ·移相器产生的移相误差 | 第65-67页 |
| ·探测器的二次非线性误差 | 第67-68页 |
| ·多光束干涉引起的误差 | 第68-70页 |
| ·高频噪声影响 | 第70-71页 |
| ·相位提取算法的选择 | 第71-73页 |
| ·相位解包算法 | 第73-80页 |
| ·相位解包算法的分类 | 第73-75页 |
| ·Itoh 的传统算法 | 第75-76页 |
| ·最小二乘算法 | 第76-80页 |
| ·相位波面拟合 | 第80-83页 |
| ·波面拟合函数系的选择 | 第80-83页 |
| ·最小二乘法 | 第83页 |
| ·波面拟合与仪器精度分析 | 第83-87页 |
| ·本章小结 | 第87-88页 |
| 结论 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-97页 |
| 致谢 | 第97页 |
