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ZnCdO合金薄膜及其异质结构的制备和光学性能的研究

摘要第1-6页
Abstract第6-12页
第1章 绪论第12-31页
   ·ZnO的基本结构与性质第12-20页
     ·ZnO的晶体结构第12-14页
     ·ZnO的能带结构第14-15页
     ·ZnO的光学性质第15-20页
   ·ZnCdO合金薄膜及其异质结构的研究第20-29页
     ·能带工程第20-21页
     ·ZnCdO合金薄膜的研究现状第21-25页
     ·ZnCdO异质结合金器件的研究现状第25-29页
   ·论文研究的意义与研究内容第29-31页
第2章 薄膜的制备及表征方法第31-41页
   ·脉冲激光沉积(PLD)第31-34页
     ·PLD的工作原理第31-32页
     ·PLD设备简介第32-34页
   ·薄膜的表征方法第34-39页
     ·X射线衍射仪(XRD)第34-35页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第35-36页
     ·表面轮廓扫描仪(台阶仪)第36页
     ·紫外-可见光透射光谱(UV-VIS)第36-37页
     ·光致发光(PL)第37-38页
     ·拉曼光谱仪(RAMAN)第38页
     ·X射线光电子能谱仪(XPS)第38-39页
   ·薄膜制备工艺第39-41页
     ·靶材的选择第39页
     ·衬底的选择及预处理第39-40页
     ·实验过程第40-41页
第3章 ZnCdO薄膜的制备及其性能表征第41-63页
   ·衬底温度对ZnCdO薄膜性能的影响第41-48页
     ·ZnCdO薄膜的制备第41-42页
     ·衬底温度对ZnCdO薄膜晶体结构的影响分析第42-43页
     ·衬底温度对ZnCdO薄膜表面形貌及生长速率的影响分析第43-45页
     ·衬底温度对 ZnCdO 薄膜光学特性的影响分析第45-48页
   ·氧气压强对ZnCdO薄膜性能的影响第48-56页
     ·ZnCdO薄膜的制备第48-49页
     ·氧气压强对ZnCdO薄膜晶体结构的影响分析第49-51页
     ·氧气压强对ZnCdO薄膜表面形貌及生长速率的影响分析第51-52页
     ·氧气压强对 ZnCdO 薄膜成分的影响分析第52-54页
     ·氧气压强对ZnCdO薄膜光学特性的影响分析第54-56页
   ·基靶间距对ZnCdO薄膜性能的影响第56-61页
     ·ZnCdO薄膜的制备第57页
     ·基靶间距对ZnCdO薄膜晶体结构的影响分析第57-58页
     ·基靶间距对 ZnCdO 薄膜表面形貌及生长速率的影响分析第58-59页
     ·基靶间距对 ZnCdO 薄膜发光特性的影响分析第59-61页
   ·本章小结第61-63页
第4章 ZnCdO薄膜发光机理研究第63-79页
   ·氧气压强对ZnCdO薄膜光致发光(PL)性能的影响分析第63-72页
     ·变温光致发光第63-72页
   ·氧气压强对ZnCdO薄膜成分的影响分析第72-75页
   ·氧气压强对ZnCdO薄膜拉曼散射的影响分析第75-77页
   ·本章小结第77-79页
第5章 ZnO/ZnCdO异质结构的制备及发光性能的研究第79-94页
   ·前期探索性实验工作第79-84页
     ·ZnO/ZnCdO单异质结构样品的制备第79-80页
     ·ZnO/ZnCdO单异质结构的性能表征第80-83页
     ·发光机理分析第83-84页
   ·ZnO/ZnCdO异质结构的制备及其发光性能的研究第84-92页
     ·Zn O缓冲层对ZnO/ZnCdO异质结构性能的影响第84-88页
     ·ZnO/ZnCdO双异质结构的制备及性能研究第88-92页
   ·本章小结第92-94页
第6章 结论与展望第94-98页
   ·结论第94-97页
   ·展望第97-98页
参考文献第98-104页
致谢第104-105页
攻读硕士学位期间参与的科研项目与研究成果第105-106页

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