| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| ·硬质涂层及其应用 | 第11-12页 |
| ·TiN薄膜性质及应用 | 第12-13页 |
| ·Ti-Si-N纳米复合膜的研究进展及应用 | 第13-14页 |
| ·纳米复合膜的制备方法 | 第14-15页 |
| ·溅射技术 | 第15-17页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第17-19页 |
| 第2章 实验材料与方法 | 第19-29页 |
| ·Ti-Si-N纳米复合膜的制备 | 第19-21页 |
| ·实验设备 | 第19-20页 |
| ·基体预处理 | 第20页 |
| ·Ti-Si-N纳米复合膜的制备工艺 | 第20-21页 |
| ·薄膜的表征方法 | 第21-29页 |
| ·相结构 | 第21-22页 |
| ·表面形貌和结构 | 第22-23页 |
| ·材料表面性能的测试 | 第23-24页 |
| ·纳米压痕硬度测试 | 第24-26页 |
| ·电化学试验 | 第26-27页 |
| ·场发射扫描电子显微镜（FESEM）分析 | 第27-29页 |
| 第3章 实验结果与讨论 | 第29-63页 |
| ·Si靶功率对Ti-Si-N纳米复合膜结构和性能的影响 | 第29-41页 |
| ·EDS分析 | 第30页 |
| ·Si靶功率对薄膜相结构的影响 | 第30-33页 |
| ·复合膜的断面形貌 | 第33-34页 |
| ·Si靶功率对表面形貌的影响 | 第34-35页 |
| ·Si靶功率对Ti-Si-N纳米复合膜膜/基结合力的的影响 | 第35-36页 |
| ·Si靶功率对薄膜硬度和弹性模量的影响 | 第36-37页 |
| ·Si靶功率对薄膜耐蚀性能的影响 | 第37-41页 |
| ·基体温度对Ti-Si-N薄膜性能和结构的影响 | 第41-47页 |
| ·基体温度对薄膜相结构的影响 | 第41-43页 |
| ·复合膜的表面形貌 | 第43-44页 |
| ·基体温度对薄膜膜/基结合力的影响 | 第44-45页 |
| ·基体温度对薄膜耐蚀性能的影响 | 第45-47页 |
| ·基体负偏压对Ti-Si-N薄膜结构和性能的影响 | 第47-56页 |
| ·负偏压对薄膜相结构的影响 | 第48-49页 |
| ·复合膜的表面形貌 | 第49-50页 |
| ·负偏压对Ti-Si-N薄膜膜/基结合力的的影响 | 第50-51页 |
| ·负偏压对薄膜硬度和弹性模量的影响 | 第51-52页 |
| ·负偏压对薄膜耐蚀性能的影响 | 第52-56页 |
| ·N_2 流量对Ti-Si-N薄膜结构和性能的影响 | 第56-60页 |
| ·N_2 流量对薄膜相结构的影响 | 第56-57页 |
| ·复合膜的表面形貌 | 第57-58页 |
| ·N_2 流量对薄膜膜/基结合力的的影响 | 第58-59页 |
| ·N_2 流量对薄膜硬度和弹性模量的影响 | 第59-60页 |
| ·Ti-Si-N纳米复合膜对304不锈钢耐腐蚀性的改善 | 第60-63页 |
| 第4章 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 在学期间发表的论文 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
