| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| ·薄膜、涂层的应用 | 第11-12页 |
| ·薄膜的制备方法与技术 | 第12-15页 |
| ·真空蒸镀 | 第13-14页 |
| ·溅射成膜 | 第14-15页 |
| ·离子镀镀膜 | 第15页 |
| ·课题研究意义与内容 | 第15-17页 |
| 第2章 实验材料与方法 | 第17-27页 |
| ·Ni-TiN纳米复合膜的制备 | 第17-21页 |
| ·实验技术路线 | 第17-18页 |
| ·实验材料及处理 | 第18页 |
| ·实验设备及制备工艺 | 第18-21页 |
| ·薄膜的微观结构与性能表征 | 第21-27页 |
| ·薄膜的相结构分析 | 第21页 |
| ·场发射扫描电子显微镜（FESEM）分析 | 第21-22页 |
| ·原子力显微镜（AFM）分析 | 第22-23页 |
| ·薄膜的膜/基结合力 | 第23-24页 |
| ·纳米压痕试验 | 第24-25页 |
| ·薄膜的腐蚀性能测试 | 第25-27页 |
| 第3章 工艺参数对Ni-TiN纳米复合膜的结构与性能的影响 | 第27-69页 |
| ·N_2 流量对Ni-TiN纳米复合膜的影响 | 第27-37页 |
| ·复合膜的相结构 | 第28-29页 |
| ·复合膜的平均晶粒尺寸 | 第29-30页 |
| ·复合膜的表面和断面形貌图 | 第30-36页 |
| ·复合膜的膜/基结合力 | 第36-37页 |
| ·Ni靶功率对Ni-TiN纳米复合膜的影响 | 第37-49页 |
| ·复合膜的相结构 | 第38-40页 |
| ·复合膜的表面形貌和断面形貌 | 第40-42页 |
| ·复合膜的硬度和抵抗塑性变形能力 | 第42-44页 |
| ·复合膜的膜/基结合力 | 第44-45页 |
| ·Ni靶功率对Ni-TiN纳米复合膜腐蚀性能的影响 | 第45-49页 |
| ·基体温度对Ni-TiN纳米复合膜的影响 | 第49-56页 |
| ·复合膜的相结构 | 第49-51页 |
| ·复合膜的表面形貌 | 第51-52页 |
| ·复合膜的膜/基结合力 | 第52-53页 |
| ·基体温度对Ni-TiN纳米复合膜腐蚀性能的影响 | 第53-56页 |
| ·基体负偏压对Ni-TiN纳米复合膜的影响 | 第56-65页 |
| ·复合膜的相结构 | 第56-58页 |
| ·复合膜的表面形貌 | 第58-59页 |
| ·复合膜的硬度和抵抗塑性变形能力 | 第59-61页 |
| ·复合膜的膜/基结合力 | 第61-62页 |
| ·基体负偏压对Ni-TiN纳米复合膜腐蚀性能的影响 | 第62-65页 |
| ·Ni-TiN纳米复合膜与不锈钢基体的腐蚀性能的比较 | 第65-69页 |
| 第4章 结论 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 在学期间发表的论文 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
