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电热驱动SU-8微夹钳的相关问题研究

摘要第1-7页
Abstract第7-13页
1 绪论第13-36页
   ·研究背景及意义第13-14页
   ·微夹持器国内外研究现状第14-32页
     ·非接触式微夹持器研究现状第14-17页
     ·吸附式微夹持器研究现状第17-19页
     ·机械夹持式微夹钳研究现状第19-26页
     ·电热驱动微夹钳研究现状第26-28页
     ·电热驱动微夹钳设计领域研究现状第28-31页
     ·具有纳米级钳口结构的微夹钳研究现状第31-32页
   ·本文主要研究内容与思路第32-36页
     ·研究内容的提出第32-34页
     ·本文的研究工作第34-36页
2 微夹钳的拓扑结构设计第36-54页
   ·引言第36页
   ·设计方法的提出第36-38页
   ·微夹钳刚性机构的选择第38-53页
     ·微夹钳刚性机构选择准则第40-42页
     ·微夹钳刚性机构综合第42-50页
     ·微夹钳刚性机构的优选第50-53页
   ·本章小结第53-54页
3 微夹钳的几何尺寸设计第54-87页
   ·引言第54-55页
   ·微夹钳柔性机构的转化第55-56页
   ·基于刚度矩阵方法的微夹钳参数化建模第56-61页
   ·新型SU-8胶V形电热驱动器第61-65页
     ·驱动器的结构第61-62页
     ·驱动器的几何参数设计第62-65页
   ·微夹钳柔性机构几何尺寸优化设计第65-72页
     ·A型微夹钳柔性机构的几何尺寸优化设计第65-69页
     ·B型微夹钳柔性机构的几何尺寸优化设计第69-72页
   ·钳口结构设计第72-73页
   ·微夹钳性能仿真分析第73-80页
     ·A型微夹钳的仿真分析第73-76页
     ·B型微夹钳的仿真分析第76-79页
     ·微夹钳的应用分析第79-80页
   ·具有纳米级钳口结构的SU-8胶电热驱动微夹钳的设计第80-85页
     ·纳米级钳口结构设计第80-83页
     ·钳体结构设计第83-85页
   ·本章小结第85-87页
4 微夹钳的制作及性能测试第87-120页
   ·引言第87页
   ·SU-8胶材料聚合物电热驱动微夹钳的制作工艺研究第87-97页
     ·SU-8胶简介第87-89页
     ·微夹钳制作工艺流程第89-91页
     ·微夹钳制作工艺优化第91-94页
     ·具有纳米级钳口结构的SU-8胶电热驱动微夹钳的制作工艺第94-97页
   ·微夹钳钳口位移输出特性及驱动器温度特性测试第97-106页
     ·微操作及性能测试系统第97-99页
     ·钳口位移输出特性测试方法第99-100页
     ·电热驱动器温度变化量测试方法第100-101页
     ·A型微夹钳钳口位移输出特性及电热驱动器温度变化量测试第101-103页
     ·B型微夹钳钳口位移输出特性及电热驱动器温度变化量测试第103-105页
     ·A型及B型微夹钳与同类微夹钳的性能比较第105-106页
   ·微夹钳夹持力测量及钳口刚度标定第106-118页
     ·微夹持力测量装置的设计第107-111页
     ·SU-8胶压阻式微悬臂梁微力传感器的制作工艺第111-113页
     ·SU-8胶压阻式微悬臂梁微力传感器的标定第113-115页
     ·微夹钳夹持力测量及钳口刚度标定第115-118页
   ·本章小结第118-120页
5 基于SU-8胶电热驱动微夹钳的微操作及微装配实验第120-128页
   ·引言第120页
   ·基于A型微夹钳的毛发微拉伸测试试样微装配实验第120-121页
   ·基于A型微夹钳的聚苯乙烯小球微操作实验第121-123页
   ·基于B型微夹钳的微血管标本微操作实验第123-124页
   ·基于B型微夹钳的蓝藻单细胞微操作实验第124-125页
   ·基于B型微夹钳的长耳鸮覆羽羽小枝微拉伸测试试样的微装配实验第125-126页
   ·本章小结第126-128页
6 结论与展望第128-131页
   ·全文结论第128-130页
   ·工作展望第130-131页
参考文献第131-143页
附录A 对称十杆单自由度微夹钳刚性机构第143-153页
创新点摘要第153-154页
攻读博士学位期间发表学术论文情况第154-156页
致谢第156-157页
作者简介第157-158页

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