摘要 | 第1-7页 |
Abstract | 第7-13页 |
1 绪论 | 第13-36页 |
·研究背景及意义 | 第13-14页 |
·微夹持器国内外研究现状 | 第14-32页 |
·非接触式微夹持器研究现状 | 第14-17页 |
·吸附式微夹持器研究现状 | 第17-19页 |
·机械夹持式微夹钳研究现状 | 第19-26页 |
·电热驱动微夹钳研究现状 | 第26-28页 |
·电热驱动微夹钳设计领域研究现状 | 第28-31页 |
·具有纳米级钳口结构的微夹钳研究现状 | 第31-32页 |
·本文主要研究内容与思路 | 第32-36页 |
·研究内容的提出 | 第32-34页 |
·本文的研究工作 | 第34-36页 |
2 微夹钳的拓扑结构设计 | 第36-54页 |
·引言 | 第36页 |
·设计方法的提出 | 第36-38页 |
·微夹钳刚性机构的选择 | 第38-53页 |
·微夹钳刚性机构选择准则 | 第40-42页 |
·微夹钳刚性机构综合 | 第42-50页 |
·微夹钳刚性机构的优选 | 第50-53页 |
·本章小结 | 第53-54页 |
3 微夹钳的几何尺寸设计 | 第54-87页 |
·引言 | 第54-55页 |
·微夹钳柔性机构的转化 | 第55-56页 |
·基于刚度矩阵方法的微夹钳参数化建模 | 第56-61页 |
·新型SU-8胶V形电热驱动器 | 第61-65页 |
·驱动器的结构 | 第61-62页 |
·驱动器的几何参数设计 | 第62-65页 |
·微夹钳柔性机构几何尺寸优化设计 | 第65-72页 |
·A型微夹钳柔性机构的几何尺寸优化设计 | 第65-69页 |
·B型微夹钳柔性机构的几何尺寸优化设计 | 第69-72页 |
·钳口结构设计 | 第72-73页 |
·微夹钳性能仿真分析 | 第73-80页 |
·A型微夹钳的仿真分析 | 第73-76页 |
·B型微夹钳的仿真分析 | 第76-79页 |
·微夹钳的应用分析 | 第79-80页 |
·具有纳米级钳口结构的SU-8胶电热驱动微夹钳的设计 | 第80-85页 |
·纳米级钳口结构设计 | 第80-83页 |
·钳体结构设计 | 第83-85页 |
·本章小结 | 第85-87页 |
4 微夹钳的制作及性能测试 | 第87-120页 |
·引言 | 第87页 |
·SU-8胶材料聚合物电热驱动微夹钳的制作工艺研究 | 第87-97页 |
·SU-8胶简介 | 第87-89页 |
·微夹钳制作工艺流程 | 第89-91页 |
·微夹钳制作工艺优化 | 第91-94页 |
·具有纳米级钳口结构的SU-8胶电热驱动微夹钳的制作工艺 | 第94-97页 |
·微夹钳钳口位移输出特性及驱动器温度特性测试 | 第97-106页 |
·微操作及性能测试系统 | 第97-99页 |
·钳口位移输出特性测试方法 | 第99-100页 |
·电热驱动器温度变化量测试方法 | 第100-101页 |
·A型微夹钳钳口位移输出特性及电热驱动器温度变化量测试 | 第101-103页 |
·B型微夹钳钳口位移输出特性及电热驱动器温度变化量测试 | 第103-105页 |
·A型及B型微夹钳与同类微夹钳的性能比较 | 第105-106页 |
·微夹钳夹持力测量及钳口刚度标定 | 第106-118页 |
·微夹持力测量装置的设计 | 第107-111页 |
·SU-8胶压阻式微悬臂梁微力传感器的制作工艺 | 第111-113页 |
·SU-8胶压阻式微悬臂梁微力传感器的标定 | 第113-115页 |
·微夹钳夹持力测量及钳口刚度标定 | 第115-118页 |
·本章小结 | 第118-120页 |
5 基于SU-8胶电热驱动微夹钳的微操作及微装配实验 | 第120-128页 |
·引言 | 第120页 |
·基于A型微夹钳的毛发微拉伸测试试样微装配实验 | 第120-121页 |
·基于A型微夹钳的聚苯乙烯小球微操作实验 | 第121-123页 |
·基于B型微夹钳的微血管标本微操作实验 | 第123-124页 |
·基于B型微夹钳的蓝藻单细胞微操作实验 | 第124-125页 |
·基于B型微夹钳的长耳鸮覆羽羽小枝微拉伸测试试样的微装配实验 | 第125-126页 |
·本章小结 | 第126-128页 |
6 结论与展望 | 第128-131页 |
·全文结论 | 第128-130页 |
·工作展望 | 第130-131页 |
参考文献 | 第131-143页 |
附录A 对称十杆单自由度微夹钳刚性机构 | 第143-153页 |
创新点摘要 | 第153-154页 |
攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第154-156页 |
致谢 | 第156-157页 |
作者简介 | 第157-158页 |