| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 1 绪论 | 第12-18页 |
| ·氮化钛铌氮化物硬质反应膜 | 第12-13页 |
| ·多元梯度硬质反应膜的发展现状 | 第13-14页 |
| ·多弧离子镀技术概述 | 第14-16页 |
| ·多弧离子镀技术特点 | 第15-16页 |
| ·本文研究意义及内容 | 第16-17页 |
| ·本课题的执行技术路线 | 第17-18页 |
| 2 试验材料与试验方法 | 第18-24页 |
| ·靶材与基体材料 | 第18页 |
| ·膜层性能分析检测方法 | 第18-19页 |
| ·膜层结构组织与成分分析 | 第18页 |
| ·膜层力学性能分析 | 第18-19页 |
| ·薄膜沉积过程工艺参数 | 第19-21页 |
| ·气体分压 | 第19-20页 |
| ·基体负偏压 | 第20页 |
| ·靶材电流强度 | 第20页 |
| ·基体材料的影响 | 第20-21页 |
| ·试验工艺参数设定 | 第21-24页 |
| 3 (Cr,Ti,Nb)N 复合膜的显微组织及相结构研究 | 第24-36页 |
| ·（Cr,Ti,Nb）N 单层膜的表面形貌及断口形貌 | 第24-26页 |
| ·（Cr,Ti,Nb）N 单层膜的表面形貌 | 第24-25页 |
| ·（Cr,Ti,Nb）N 单层膜的断口形貌 | 第25-26页 |
| ·（Cr,Ti,Nb）N 单层膜的成分及相结构 | 第26-28页 |
| ·（Cr,Ti,Nb）N 单层膜的成分 | 第26-27页 |
| ·（Cr,Ti,Nb）N 单层膜的相结构 | 第27-28页 |
| ·（Cr,Ti,Nb）N 梯度膜的表面形貌及断口形貌 | 第28-31页 |
| ·（Cr,Ti,Nb）N 梯度膜的表面形貌 | 第28-29页 |
| ·（Cr,Ti,Nb）N 梯度膜的断口形貌 | 第29-31页 |
| ·（Cr,Ti,Nb）N 梯度膜的成分及相结构 | 第31-33页 |
| ·（Cr,Ti,Nb）N 梯度膜的成分 | 第31-32页 |
| ·（Cr,Ti,Nb）N 梯度膜的相结构 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-36页 |
| 4 （Cr,Ti,Nb）N 复合膜的力学性能与研究 | 第36-52页 |
| ·（Cr,Ti,Nb）N 复合膜的显微硬度 | 第36-37页 |
| ·（Cr,Ti,Nb）N 复合膜的膜/基附着力 | 第37-39页 |
| ·（Cr,Ti,Nb）N 复合膜的摩擦磨损性能 | 第39-47页 |
| ·（Cr,Ti,Nb）N 复合膜的抗热震性能 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 5 （Ti,Zr,Nb）N 复合膜的显微组织及结构 | 第52-62页 |
| ·（Ti,Zr,Nb）N 单层膜的表面形貌及断口形貌 | 第52-54页 |
| ·(Ti,Zr,Nb)N 单层膜的表面形貌 | 第52-53页 |
| ·(Ti,Zr,Nb)N 单层膜的断口形貌 | 第53-54页 |
| ·（Ti,Zr,Nb）N 单层膜的成分及相结构 | 第54-56页 |
| ·(Ti,Zr,Nb)N 单层膜的成分 | 第54-55页 |
| ·(Ti,Zr,Nb)N 单层膜的相结构 | 第55-56页 |
| ·（Ti,Zr,Nb）N 梯度膜的表面形貌及断口形貌 | 第56-58页 |
| ·(Ti,Zr,Nb)N 梯度膜的表面形貌 | 第56页 |
| ·(Ti,Zr,Nb)N 梯度膜的断口形貌 | 第56-58页 |
| ·（Ti,Zr,Nb）N 梯度膜的成分及相结构 | 第58-60页 |
| ·(Ti,Zr,Nb)N 梯度膜的成分 | 第58-59页 |
| ·(Ti,Zr,Nb)N 梯度膜的相结构 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 6. （Ti,Zr,Nb）N 复合膜的力学性能研究与分析 | 第62-76页 |
| ·（Ti,Zr,Nb）N 复合膜的显微硬度 | 第62页 |
| ·（Ti,Zr,Nb）N 复合膜的膜/基附着力 | 第62-64页 |
| ·（Ti,Zr,Nb）N 复合膜的摩擦磨损性能 | 第64-71页 |
| ·（Ti,Zr,Nb）N 复合膜的抗热震性能 | 第71-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 7. 结论 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-83页 |
| 在学期间研究成果 | 第83-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
