自稳程双光束探测干涉仪的设计
| 致谢 | 第1-5页 |
| 中文摘要 | 第5-6页 |
| 英文摘要 | 第6-7页 |
| 绪论 | 第7-9页 |
| 第一章 晶体的压电性和铁电性 | 第9-13页 |
| 1．1 压电效应 | 第9-10页 |
| 1．2 铁电晶体 | 第10-11页 |
| 1．3 压电特性的测量 | 第11-13页 |
| 第二章 微位移的激光干涉法测量 | 第13-17页 |
| 2．1 干涉法测微位移的原理分析 | 第13-14页 |
| 2．2 单光束探测干涉仪和基底弯曲效应 | 第14-17页 |
| 第三章 双光束探测干涉仪原理 | 第17-24页 |
| 3．1 双光束探测干涉仪示意图 | 第17-18页 |
| 3．2 基底弯曲效应的消除 | 第18页 |
| 3．3 锁相检测的原理 | 第18-21页 |
| 3．4 微位移检测原理 | 第21-22页 |
| 3．5 设计任务分析 | 第22-24页 |
| 第四章 光路和机构设计 | 第24-33页 |
| 4．1 光路设计 | 第24-30页 |
| 4．2 调节机构设计 | 第30-33页 |
| 第五章 光电转换系统的设计 | 第33-41页 |
| 5．1 光电转换系统的组成 | 第33页 |
| 5．2 光电二极管 | 第33-34页 |
| 5．3 818-BB-21型光电探测器 | 第34-35页 |
| 5．4 光电转换电路 | 第35-40页 |
| 5．5 运放的选择和电路参数的确定 | 第40-41页 |
| 第六章 反馈控制系统的设计 | 第41-55页 |
| 6．1 反馈控制原理分析 | 第41-42页 |
| 6．2 反馈控制系统的数学模型 | 第42-43页 |
| 6．3 控制特性设计 | 第43-45页 |
| 6．4 控制电路设计 | 第45-53页 |
| 6．5 反馈控制系统的测试 | 第53-55页 |
| 第七章 软件设计 | 第55-67页 |
| 7．1 SR830型锁相放大器的功能和编程 | 第55-56页 |
| 7．2 软件设计目标 | 第56页 |
| 7．3 d_（33）测量控制软件的设计 | 第56-62页 |
| 7．4 “蝴蝶”曲线的测量控制软件设计 | 第62-67页 |
| 第八章 样品测试 | 第67-72页 |
| 8．1 测试步骤 | 第67-68页 |
| 8．2 石英样品测试 | 第68-69页 |
| 8．3 双光束探测和单光束探测结果的比较 | 第69-70页 |
| 8．4 铁电薄膜“蝴蝶”曲线的测量 | 第70-72页 |
| 第九章 总结 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 附录 | 第76-78页 |
