基于曲线拟合的晶圆晶片计数
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| Contents | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| ·研究背景和意义 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·本文研究内容和章节安排 | 第13-15页 |
| 第二章 数字图像处理技术及理论 | 第15-32页 |
| ·图像预处理技术 | 第15-19页 |
| ·图像的灰度化 | 第16页 |
| ·图像的二值化 | 第16-17页 |
| ·维纳滤波 | 第17-18页 |
| ·图像分割 | 第18-19页 |
| ·圆检测算法 | 第19-23页 |
| ·Hough圆变换 | 第20-21页 |
| ·最小二乘圆 | 第21-22页 |
| ·随机圆检测方法 | 第22-23页 |
| ·直线检测 | 第23-27页 |
| ·最小二乘法直线检测 | 第24-25页 |
| ·Hough直线检测 | 第25-26页 |
| ·Radon变换直线检测 | 第26-27页 |
| ·曲线拟合 | 第27页 |
| ·形态学图像处理 | 第27-32页 |
| ·二值形态学膨胀 | 第29-30页 |
| ·二值形态学腐蚀 | 第30-32页 |
| 第三章 晶圆计数实现过程 | 第32-45页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·晶圆定位 | 第32-35页 |
| ·晶圆特征检测与识别 | 第35-39页 |
| ·最小二乘法圆法 | 第36-37页 |
| ·基于Hough直线检测方法 | 第37-39页 |
| ·晶圆直线分类 | 第39-43页 |
| ·随机抽样一致性算法 | 第39-40页 |
| ·基于随机抽样一致性的直线筛选 | 第40-42页 |
| ·参数设置 | 第42-43页 |
| ·晶圆尺寸估计 | 第43页 |
| ·曲线拟合及计数 | 第43-45页 |
| 第四章 实验仿真与分析 | 第45-48页 |
| ·实验仿真 | 第45-46页 |
| ·结果分析 | 第46-48页 |
| 第五章 总结与展望 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56页 |