基于曲线拟合的晶圆晶片计数
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-7页 |
目录 | 第7-9页 |
Contents | 第9-11页 |
第一章 绪论 | 第11-15页 |
·研究背景和意义 | 第11-12页 |
·国内外研究现状 | 第12-13页 |
·本文研究内容和章节安排 | 第13-15页 |
第二章 数字图像处理技术及理论 | 第15-32页 |
·图像预处理技术 | 第15-19页 |
·图像的灰度化 | 第16页 |
·图像的二值化 | 第16-17页 |
·维纳滤波 | 第17-18页 |
·图像分割 | 第18-19页 |
·圆检测算法 | 第19-23页 |
·Hough圆变换 | 第20-21页 |
·最小二乘圆 | 第21-22页 |
·随机圆检测方法 | 第22-23页 |
·直线检测 | 第23-27页 |
·最小二乘法直线检测 | 第24-25页 |
·Hough直线检测 | 第25-26页 |
·Radon变换直线检测 | 第26-27页 |
·曲线拟合 | 第27页 |
·形态学图像处理 | 第27-32页 |
·二值形态学膨胀 | 第29-30页 |
·二值形态学腐蚀 | 第30-32页 |
第三章 晶圆计数实现过程 | 第32-45页 |
·引言 | 第32页 |
·晶圆定位 | 第32-35页 |
·晶圆特征检测与识别 | 第35-39页 |
·最小二乘法圆法 | 第36-37页 |
·基于Hough直线检测方法 | 第37-39页 |
·晶圆直线分类 | 第39-43页 |
·随机抽样一致性算法 | 第39-40页 |
·基于随机抽样一致性的直线筛选 | 第40-42页 |
·参数设置 | 第42-43页 |
·晶圆尺寸估计 | 第43页 |
·曲线拟合及计数 | 第43-45页 |
第四章 实验仿真与分析 | 第45-48页 |
·实验仿真 | 第45-46页 |
·结果分析 | 第46-48页 |
第五章 总结与展望 | 第48-50页 |
参考文献 | 第50-54页 |
攻读硕士学位期间发表的论文 | 第54-56页 |
致谢 | 第56页 |