| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·研究背景 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-12页 |
| ·传统红外吸收层 | 第9-11页 |
| ·新型微结构吸收层的研究现状 | 第11-12页 |
| ·论文主要研究内容及意义 | 第12-15页 |
| ·研究的主要内容 | 第12-13页 |
| ·研究意义 | 第13-15页 |
| 2 有机材料红外吸收层设计 | 第15-22页 |
| ·热学设计 | 第15页 |
| ·传统红外吸收层吸收原理 | 第15-17页 |
| ·黑化层吸收原理 | 第15-16页 |
| ·金属薄膜吸收原理 | 第16页 |
| ·谐振腔结构吸收原理 | 第16-17页 |
| ·有机材料红外吸收层的设计 | 第17-20页 |
| ·有机材料特性分析 | 第17-18页 |
| ·有机材料红外吸收层微阵列结构设计 | 第18-20页 |
| ·有机材料红外吸收层的制作及测试 | 第20-22页 |
| 3 有机材料红外吸收层的制造工艺 | 第22-42页 |
| ·母版的掩膜板设计 | 第22页 |
| ·磁控溅射铝层掩膜 | 第22-23页 |
| ·光刻母版图形 | 第23-26页 |
| ·刻蚀制造技术 | 第26-40页 |
| ·刻蚀工艺简介 | 第26-28页 |
| ·湿法刻蚀铝层掩膜 | 第28-32页 |
| ·反应离子刻蚀母版微结构 | 第32-37页 |
| ·反应离子刻蚀结果分析 | 第37-40页 |
| ·模压制造有机材料红外吸收层 | 第40-42页 |
| ·模压制造 | 第40-41页 |
| ·模压结果分析 | 第41-42页 |
| 4 有机材料红外吸收层吸收特性测试及分析 | 第42-50页 |
| ·有机材料红外吸收特性测试 | 第42-48页 |
| ·硫化锌材料相对吸收强度和透射率测试结果 | 第42-43页 |
| ·具有PDMS薄膜的硫化锌相对吸收强度和透射率测试结果 | 第43-45页 |
| ·具有PDMS吸收层的硫化锌相对吸收强度和透射率测试结果 | 第45-48页 |
| ·有机材料红外吸收层吸收特性分析 | 第48-50页 |
| 5 结论 | 第50-52页 |
| ·结论 | 第50页 |
| ·展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-58页 |