| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| ·微小等离子体放电器概述 | 第9-13页 |
| ·低温等离子体 | 第9页 |
| ·微等离子体放电器 | 第9-13页 |
| ·微等离子体放电器的相关应用 | 第13-18页 |
| ·微等离子体射流在医学方面的应用 | 第14-15页 |
| ·微等离子体放电器在平板光源显示方面的应用 | 第15-17页 |
| ·微等离子体放电器在材料刻蚀和沉积方面的应用 | 第17-18页 |
| ·蘸水笔纳米印刷技术发展概述 | 第18-21页 |
| ·蘸水笔纳米光刻技术(Dip-Pen Nanolithography) | 第18-19页 |
| ·聚合物笔光刻技术(Polymer-Pen Lithography) | 第19-20页 |
| ·光束笔光刻技术(Beam-Pen Lithography) | 第20-21页 |
| ·论文研究目的和意义 | 第21-25页 |
| 第二章 微放电器针尖阵列结构设计 | 第25-43页 |
| ·微放电器针尖阵列的结构设计概述 | 第25-26页 |
| ·微放电器阵列单元设计 | 第26-42页 |
| ·微放电器微型空腔尺寸设计 | 第26-27页 |
| ·微放电器阵列单元位置排布设计 | 第27-42页 |
| ·本章总结 | 第42-43页 |
| 第三章 微放电器针尖阵列的制备加工工艺 | 第43-57页 |
| ·微放电器针尖阵列制备工艺概述 | 第43-45页 |
| ·微放电器针尖阵列制备工艺介绍 | 第45-48页 |
| ·双面硅片氧化工艺优化 | 第48-53页 |
| ·其他结构类型微放电器的制备 | 第53-54页 |
| ·本章总结 | 第54-57页 |
| 第四章 微放电器阵列的性能测试 | 第57-71页 |
| ·微放电器针尖阵列直流电学测试系统介绍 | 第57-59页 |
| ·微放电器针尖阵列直流电学性能测试 | 第59-69页 |
| ·外部电路限流电阻对电学性能的影响 | 第59-63页 |
| ·微放电器单元阵列数对电学性能的影响 | 第63-65页 |
| ·微放电器尺寸对放电性能的影响 | 第65-66页 |
| ·气体气压对放电性能的影响 | 第66-67页 |
| ·在反应气体中的放电性能 | 第67-69页 |
| ·介质阻挡阵列放电尝试性测试 | 第69-70页 |
| ·本章总结 | 第70-71页 |
| 第五章 总结和展望 | 第71-75页 |
| ·总结 | 第71-73页 |
| ·论文研究内容总结 | 第71-72页 |
| ·论文创新性总结 | 第72-73页 |
| ·展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 在读期间发表的学术论文 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
