| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| ·选题背景及意义 | 第10页 |
| ·薄膜热电偶发展历史简介 | 第10-12页 |
| ·薄膜热电偶研究现状 | 第12-14页 |
| ·热电转换机理 | 第12-13页 |
| ·热电极尺寸对Seebeck系数的影响 | 第13页 |
| ·微纳米传热学发展 | 第13-14页 |
| ·测温刀具热传导研究模型 | 第14-16页 |
| ·直接法 | 第14-15页 |
| ·等效法 | 第15-16页 |
| ·本文研究的主要内容及组织结构 | 第16-18页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第16-17页 |
| ·本文的组织结构 | 第17-18页 |
| 第二章 测温刀具静动态特性机理分析 | 第18-33页 |
| ·薄膜热电偶的热电势率 | 第18-25页 |
| ·薄膜的电子输运理论 | 第19-20页 |
| ·绝对热电势率 | 第20-21页 |
| ·扩散热电势率 | 第21-22页 |
| ·薄膜与块体材料Seebeck系数的关系 | 第22-25页 |
| ·薄膜热电偶的响应时间 | 第25-32页 |
| ·多层膜传热过程的数学模型 | 第25-29页 |
| ·测温刀具数学模型计算结果与分析 | 第29-30页 |
| ·测温刀具响应时间仿真预测 | 第30-32页 |
| 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 NiCr/NiSi测温刀具结构设计及参数选择 | 第33-45页 |
| ·测温刀具结构设计及参数选择 | 第33-35页 |
| ·测温刀头结构设计 | 第33页 |
| ·绝缘膜材料选择 | 第33-34页 |
| ·热电偶材料选择 | 第34-35页 |
| ·保护膜材料选择 | 第35页 |
| ·测温刀具各层薄膜的制备过程 | 第35-38页 |
| ·SiO_2绝缘膜的制备 | 第37页 |
| ·NiCr/NiSi薄膜的制备 | 第37-38页 |
| ·Si_3N_4薄膜的制备 | 第38页 |
| ·测温刀具引线的接法 | 第38-41页 |
| ·单面双点焊法 | 第40页 |
| ·改进的单面双点焊法 | 第40-41页 |
| ·焊锡法 | 第41页 |
| ·新型温度自感知刀具设计 | 第41-44页 |
| ·自感知刀具结构 | 第41-42页 |
| ·自感知刀具原理图 | 第42-43页 |
| ·自感知刀具测量系统 | 第43页 |
| ·实验测试结果分析 | 第43-44页 |
| 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 薄膜热电偶测温刀具静动态性能实验研究 | 第45-61页 |
| ·静态性能实验系统及方法 | 第45-53页 |
| ·实验系统 | 第45-52页 |
| ·试样制备 | 第52-53页 |
| ·实验步骤 | 第53页 |
| ·数据处理方法及系统可靠性分析 | 第53-54页 |
| ·薄膜厚度对Seebeck系数的影响 | 第54-55页 |
| ·动态性能实验系统及方法 | 第55-57页 |
| ·实验系统 | 第57页 |
| ·实验步骤 | 第57页 |
| ·实验值与传热模型对比分析 | 第57-59页 |
| ·膜厚对响应时间的影响 | 第59-60页 |
| 本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第64页 |
| 攻读硕_士学位期间申请发明专利情况 | 第64页 |
| 攻读硕士学位期间获奖情况 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |