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基于机器视觉的硅片表面缺陷检测和颜色检测

摘要第1-4页
Abstract第4-7页
第一章 绪论第7-13页
   ·课题背景及意义第7-8页
     ·课题背景第7页
     ·课题意义第7-8页
   ·课题研究现状第8-10页
   ·研究目的第10-11页
   ·本文研究的主要内容第11-13页
第二章 硅晶片检测系统的硬件架构与检测流程设计第13-21页
   ·检测系统硬件设计第13-15页
     ·检测系统总体设计第13-14页
     ·机械结构设计第14-15页
   ·视觉系统硬件选型第15-17页
     ·相机选型第15页
     ·光学镜头选型第15-16页
     ·光源的设计第16-17页
   ·检测流程设计第17-20页
   ·本章小结第20-21页
第三章 基于 Canny 算子和图像配准的缺陷检测第21-31页
   ·边缘检测算子第21-25页
     ·Robert 边缘算子第21页
     ·Sobel 边缘算子第21-22页
     ·高斯-拉普拉斯算子第22页
     ·Canny 边缘算子第22-23页
     ·文中采用的边缘检测方法第23-25页
   ·特征图像匹配第25-28页
     ·图像的初步配准第26页
     ·图像的精确配准第26-28页
   ·缺陷识别检测第28-29页
   ·缺陷检测系统分析第29-30页
   ·本章小结第30-31页
第四章 硅晶片表面颜色特征的选取第31-39页
   ·图像特征第31-32页
     ·图像特征的分类第31页
     ·特征提取的原则第31页
     ·特征的评价标准第31-32页
   ·色彩模型第32-34页
     ·RGB 模型第32-33页
     ·HSI 模型第33页
     ·彩色坐标变换第33-34页
   ·硅晶片颜色特征的选取第34-38页
     ·硅晶片生产工艺要求第34-35页
     ·HSI 模型特征选取第35-37页
     ·分区域直方图特征提取第37-38页
   ·本章小结第38-39页
第五章 基于 MGSA-SVM 的色差检测分类系统第39-55页
   ·支持向量机第39-40页
     ·支持向量机分类思想第39页
     ·最佳分类超平面第39-40页
     ·核函数第40页
   ·引力搜索算法及其改进第40-47页
     ·标准引力搜索算法第41-42页
     ·GSA 和 PSO 粒子记忆性分析第42-43页
     ·算法改进分析第43-44页
     ·测试及分析第44-47页
   ·基于 MGSA 的特征选择和参数优化协同进化第47-49页
     ·SVM 的参数寻优第47页
     ·分类器的特征选择第47-48页
     ·分类器特征选择和参数优化协同进化第48-49页
   ·基于 MGSA-SVM 的太阳能硅晶片分类试验第49-53页
     ·MGSA-SVM 算法第49-50页
     ·数据集的特征量第50-51页
     ·SVM 分类精度的计算方法第51页
     ·实验评价的方法第51页
     ·实验参数设置以及实验评价第51-53页
   ·颜色检测系统分析第53-54页
   ·本章小结第54-55页
主要结论与展望第55-57页
致谢第57-59页
参考文献第59-63页
作者在攻读硕士学位期间发表的论文第63页

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