| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-13页 |
| ·平面螺旋电感器 | 第10-11页 |
| ·MIM 结构薄膜电容 | 第11页 |
| ·高 Q 值平面螺旋电感及集成 LC 滤波器设计技术 | 第11-13页 |
| ·研究内容及各章节安排 | 第13-15页 |
| 第二章 高 Q 值多电流路径平面螺旋电感器的设计 | 第15-28页 |
| ·平面螺旋电感的相关参数 | 第15-17页 |
| ·寄生效应对电感器的影响 | 第17-21页 |
| ·基板寄生电容对电感器的影响 | 第18-19页 |
| ·跳线介质层的寄生电容对电感器的影响 | 第19-20页 |
| ·电感器尺寸对电感器寄生效应的影响 | 第20-21页 |
| ·根据数学模型对平面螺旋电感进行结构优化 | 第21-23页 |
| ·采用多电流路径结构对平面螺旋电感进行优化 | 第23-26页 |
| ·电流密度分布分析 | 第24-25页 |
| ·不同电流路径数的平面螺旋电感仿真结果分析 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 第三章 集成 LC 滤波器的设计与优化 | 第28-47页 |
| ·LC 滤波器的基本设计方法 | 第28-29页 |
| ·电容耦合带通滤波器 | 第29-32页 |
| ·寄生参数对设计的影响 | 第32-34页 |
| ·利用 EDA 软件对集成 LC 滤波器设计与优化 | 第34-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 集成 LC 滤波器工艺 | 第47-58页 |
| ·光刻工艺概述 | 第47-52页 |
| ·光刻工艺基本步骤 | 第47-48页 |
| ·光刻胶对光刻的影响 | 第48-49页 |
| ·接触式光刻工艺 | 第49-50页 |
| ·湿法刻蚀工艺 | 第50-52页 |
| ·集成 LC 滤波器工艺 | 第52-57页 |
| ·制备 BNST 介质层 | 第53-55页 |
| ·制备 Au 上电极 | 第55-56页 |
| ·上电极电镀加厚 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 器件测试与结果分析 | 第58-72页 |
| ·BNST 薄膜及 MIM 结构薄膜电容的制备与测试 | 第58-61页 |
| ·多电流路径平面螺旋电感的制作与测试 | 第61-67页 |
| ·集成 LC 滤波器的性能测试与结果分析 | 第67-71页 |
| ·集成 LC 滤波器的测试方法与测试流程 | 第67-68页 |
| ·集成 LC 滤波器的测试结果分析 | 第68-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第六章 结论 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第77-78页 |
