硅基集成无源滤波器的设计与制作
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·课题的研究背景 | 第8-9页 |
| ·硅基IPD国内外发展现状 | 第9-15页 |
| ·论文的研究思想和研究内容 | 第15-17页 |
| 2 硅基集成电感与电容元件设计 | 第17-31页 |
| ·HFSS软件简介及设计流程 | 第17-19页 |
| ·HFSS软件简介 | 第17-18页 |
| ·HFSS设计流程 | 第18-19页 |
| ·硅基集成电感的设计 | 第19-27页 |
| ·电感结构及其参数提取 | 第19-22页 |
| ·硅基集成电感的仿真及分析 | 第22-27页 |
| ·硅基集成电容的设计 | 第27-30页 |
| ·电容结构及其参数提取 | 第27-29页 |
| ·硅基集成电容的仿真及分析 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 硅基集成无源滤波器的设计 | 第31-39页 |
| ·硅基集成低通滤波器的设计 | 第32-33页 |
| ·5阶巴特特沃思型低通滤波器电路元件值计算 | 第32页 |
| ·5阶巴特沃思型低通滤波器HFSS仿真 | 第32-33页 |
| ·硅基集成高通滤波器的设计 | 第33-35页 |
| ·5阶巴特沃思型高通滤波器电路元件值计算 | 第33-34页 |
| ·5阶巴特沃思型高通滤波器HFSS仿真 | 第34-35页 |
| ·硅基集成带通滤波器的设计 | 第35-36页 |
| ·2阶巴特沃思型带通滤波器电路元件值计算 | 第35页 |
| ·2阶巴特沃思型带通滤波器HFSS仿真 | 第35-36页 |
| ·硅基集成带阻滤波器的设计 | 第36-38页 |
| ·3阶巴特沃思型带阻滤波器电路元件值计算 | 第37页 |
| ·3阶巴特沃思型带阻滤波器HFSS仿真 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 4 硅基集成无源滤波器的关键工艺与工艺流程 | 第39-53页 |
| ·苯丙环丁烯的光刻工艺 | 第39-43页 |
| ·苯丙环丁烯简介 | 第39-40页 |
| ·苯丙环丁烯光刻工艺流程 | 第40-43页 |
| ·电镀Cu工艺 | 第43-46页 |
| ·电镀Cu工艺原理简介 | 第43-44页 |
| ·电镀Cu的工艺流程 | 第44-46页 |
| ·硅基集成无源滤波器的工艺流程 | 第46-50页 |
| ·硅基集成无源滤波器的版图设计 | 第50-52页 |
| ·版图设计规则 | 第50页 |
| ·制版说明 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 5 硅基集成无源滤波器的制作与特性分析 | 第53-62页 |
| ·硅基集成无源滤波器的制作 | 第53-54页 |
| ·硅基集成无源滤波器的测试 | 第54-59页 |
| ·测试结果分析 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
