动力学蒙特卡罗方法模拟薄膜外延生长

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-13页
·薄膜研究的重要意义	第9-10页
·计算机模拟薄膜生长的发展	第10页
·常用的计算机模拟方法	第10-11页
·文章主要内容和工作安排	第11-13页
2 薄膜生长理论和模型简介	第13-23页
·亚单层膜的生长过程	第13-15页
·多层膜的生长	第15-18页
·影响薄膜生长的因素	第18页
·模拟模型	第18-22页
·模拟方法介绍	第18-19页
·模型	第19-20页
·计算采用模型	第20-22页
·本章小结	第22-23页
3 KMC模拟有活性剂介入的薄膜外延生长	第23-37页
·表面活性剂	第23-24页
·模型的建立	第24-26页
·模型介绍	第24页
·沉积吸附过程	第24-25页
·扩散方式	第25-26页
·模型过程和流程图	第26-27页
·数值模拟结果	第27-36页
·有活性剂和没有活性剂时对薄膜形貌的影响	第28-29页
·原子间相互作用能对活性剂漂浮行为的影响	第29-33页
·温度对活性剂原子漂浮行为的影响	第33-36页
·本章小结	第36-37页
4 KMC模拟纳米团簇的生长	第37-44页
·模型的建立	第38页
·模拟结果和讨论	第38-43页
·本章小结	第43-44页
结论	第44-46页
参考文献	第46-49页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第49-50页
致谢	第50-51页