压电薄膜体声波液体传感器的制备及性能初步研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
第一章 绪论	第10-16页
·引言	第10-11页
·FBAR传感器的国内外研究现状	第11-15页
·论文研究目的及主要内容	第15-16页
第二章 FBAR传感器的工作原理及其结构	第16-24页
·FBAR器件的理论基础	第16-17页
·FBAR传感器中的声波模式	第17-19页
·FBAR传感器结构基础	第19-23页
·FBAR器件材料的选择	第19-20页
·FBAR谐振器的基本结构	第20-22页
·FBAR的质量敏感原理	第22页
·FBAR液体传感器的检测方法	第22-23页
·本章小结	第23-24页
第三章 SMR结构及薄膜的制备与表征	第24-33页
·SMR元件设计	第24-27页
·SMR理论基础	第24页
·SMR的基本设计	第24-26页
·SMR材料的选择	第26-27页
·薄膜的表征方法	第27页
·薄膜形貌的表征	第27页
·Mo/SiO_2声反射层的制备及表征	第27-33页
第四章 液体传感器的制备工艺及其性能初步分析	第33-49页
·SMR的电极图形	第33页
·SMR工艺步骤	第33-38页
·标准RCA清洗	第34页
·Mo/SiO_2布拉格声反射层的制备	第34-35页
·C轴倾斜AlN压电薄膜的制备	第35-36页
·光刻工艺	第36-37页
·上电极的制作	第37-38页
·微流控芯片基础	第38-41页
·PDMS微流控沟道的制备	第38-40页
·SMR器件与PDMS的集成	第40-41页
·SMR传感器性能测试分析	第41-48页
·基于C轴倾斜AlN薄膜SMR的结构	第41-43页
·基于C轴倾斜AlN薄膜SMR的频率特性	第43-45页
·液体传感器性能初步探讨	第45-48页
·本章小结	第48-49页
第五章 结论与展望	第49-50页
参考文献	第50-54页
附录 研究生期间发表的学术论文	第54-55页
致谢	第55页