| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·飞秒激光特点 | 第9-10页 |
| ·飞秒激光加工 | 第10-11页 |
| ·高重复频率飞秒激光加工 | 第11-17页 |
| ·光子晶体光纤飞秒激光技术 | 第11-13页 |
| ·高重复频率飞秒激光加工进展 | 第13-17页 |
| ·选题意义、研究内容及创新点 | 第17-19页 |
| 第2章 高重复频率飞秒激光加工理论及数值模拟 | 第19-41页 |
| ·飞秒激光加工理论概述 | 第19-22页 |
| ·飞秒激光加工透明电介质理论 | 第19-21页 |
| ·飞秒激光加工金属理论 | 第21-22页 |
| ·飞秒激光加工半导体理论 | 第22页 |
| ·飞秒激光加工金属膜的双温数值模型 | 第22-26页 |
| ·一维双温模型 | 第23页 |
| ·三维柱坐标系双温模型 | 第23-26页 |
| ·飞秒激光加工透明介质的雪崩电离数值模型 | 第26-28页 |
| ·低能量多脉冲飞秒激光作用时的热传导模型 | 第28-33页 |
| ·飞秒激光多脉冲作用金属的热传导模型 | 第28-31页 |
| ·飞秒激光多脉冲作用透明介质的热传导模型 | 第31-33页 |
| ·高重复频率飞秒激光加工的机制分析 | 第33-39页 |
| ·高重复频率飞秒激光作用下的热积累过程 | 第34-37页 |
| ·高重复频率飞秒激光加工的阈值 | 第37-38页 |
| ·高重复频率飞秒激光加工效率的提高 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第3章 高重复频率飞秒激光加工系统 | 第41-51页 |
| ·飞秒激光微加工实验系统 | 第41-45页 |
| ·高重复频率飞秒激光系统 | 第41-43页 |
| ·飞秒激光微加工系统 | 第43-45页 |
| ·飞秒激光加工工作流程 | 第45-46页 |
| ·焦点位置判断 | 第45-46页 |
| ·加工形貌分析 | 第46页 |
| ·飞秒激光聚焦光斑大小测定 | 第46-48页 |
| ·破坏面积回归法 | 第47-48页 |
| ·光斑成像法 | 第48页 |
| ·飞秒激光加工阈值测定方法 | 第48-50页 |
| ·面积回归法 | 第49-50页 |
| ·透射测量法 | 第50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 高重复频率飞秒激光加工金属材料 | 第51-79页 |
| ·飞秒激光加工 45 号钢体金属在表面产生微浮雕 | 第51-59页 |
| ·45 号钢体金属加工过程 | 第51-54页 |
| ·加工浮雕结构的机制分析 | 第54-58页 |
| ·1 kHz 重复频率飞秒激光加工对比实验 | 第58-59页 |
| ·飞秒激光加工 Cu 金属薄膜产生纳米颗粒 | 第59-71页 |
| ·飞秒激光加工 Cu 薄膜实验 | 第60-68页 |
| ·飞秒激光与 Cu 薄膜相互作用的机制分析 | 第68-71页 |
| ·不同重复频率飞秒激光加工金属薄膜的对比分析 | 第71-77页 |
| ·重复频率对阈值的影响 | 第71页 |
| ·重复频率对热累积效应的影响 | 第71-77页 |
| ·本章小结 | 第77-79页 |
| 第5章 高重复频率飞秒激光加工电介质材料 | 第79-91页 |
| ·52 MHz 飞秒激光加工波导结构 | 第79-87页 |
| ·波导加工结果 | 第80-82页 |
| ·高重复频率飞秒激光加工电介质波导机制分析 | 第82-84页 |
| ·波导特性测试 | 第84-87页 |
| ·1 MHz 和 650 kHz 飞秒激光加工波导 | 第87-90页 |
| ·波导加工结果 | 第88-89页 |
| ·光子晶体波导检测 | 第89-90页 |
| ·本章小结 | 第90-91页 |
| 第6章 高重复频率飞秒激光加工半导体材料 | 第91-102页 |
| ·高重复频率飞秒激光加工 THz 发射晶体 GaP | 第91-94页 |
| ·加工实验 | 第91页 |
| ·加工结果及分析 | 第91-94页 |
| ·不同重复频率飞秒激光加工半导体材料对比实验 | 第94-97页 |
| ·Si 片的飞秒激光加工对比实验 | 第94-95页 |
| ·GaAs 基片的飞秒激光加工对比实验 | 第95-97页 |
| ·不同重复频率飞秒激光加工 GaAs 纳米线 | 第97-101页 |
| ·高重复频率飞秒激光加工 GaAs 纳米线 | 第98-99页 |
| ·低重复频率激光加工 GaAs 纳米线 | 第99-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 第7章 总结与展望 | 第102-104页 |
| 参考文献 | 第104-118页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第118-120页 |
| 发表论文情况 | 第118-119页 |
| 参与的科研项目 | 第119-120页 |
| 附录 | 第120-121页 |
| 致谢 | 第121页 |