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SiCl4前驱体生长高纯石英晶体的工艺研究

摘要第1-4页
Abstract第4-8页
第1章 绪论第8-22页
   ·研究的目的和意义第8-9页
   ·石英晶体性质及研究现状第9-13页
     ·石英晶体的结构第9-10页
     ·石英晶体的物理化学性质第10页
     ·高纯石英砂的研究现状第10-11页
     ·水热法制备石英晶体的研究进展第11-13页
   ·SICL_4的性质及水解第13-15页
     ·SiCl_4性质的简介第13页
     ·SiCl_4的水解第13-14页
     ·SiCl_4的应用现状第14-15页
   ·水热法晶体生长研究第15-17页
     ·水热法晶体生长的特点第15页
     ·水热法晶体生长技术第15-16页
     ·水热法晶粒制备技术简介第16-17页
   ·研究内容及方案第17-20页
     ·研究内容第17-18页
     ·实验方案和技术路线第18-20页
   ·实验原料和表征第20-22页
     ·实验试剂及仪器第20页
     ·表征及性能测试第20-22页
第2章 水热法生长石英晶体的实验研究第22-31页
   ·前驱体的制备及性能表征第22-25页
     ·前驱体的制备第22-23页
     ·前驱体的性能表征第23-25页
       ·XRD分析第23页
       ·SEM分析第23-24页
       ·EDS分析第24-25页
       ·FTIR分析第25页
   ·SiCl_4前驱体生长石英晶体实验研究第25-28页
     ·SiCl_4前驱体合成石英晶体过程第25-26页
     ·XRD和SEM分析第26页
     ·EDS和FTIR分析第26-28页
   ·矿化剂的选择第28-29页
     ·XRD分析第28页
     ·SEM分析第28-29页
   ·本章小结第29-31页
第3章 温度对石英晶体生长的影响第31-41页
   ·水热反应温度与压力之间的关系第31-33页
   ·反应温度对石英晶体生长的影响第33-38页
     ·XRD分析第34-36页
     ·SEM分析第36-38页
   ·温度对石英晶体生长速率的影响第38-40页
   ·本章小结第40-41页
第4章 浓度和pH值对石英晶体生长的影响第41-48页
   ·浓度对石英晶体生长的影响第41-44页
     ·XRD分析第41-42页
     ·SEM分析第42-44页
   ·pH值对石英晶体生长的影响第44-47页
     ·pH值对SiO_2解度的影响第44-45页
     ·XRD分析第45-46页
     ·SEM分析第46-47页
   ·本章小结第47-48页
第5章 石英晶体的相变过程研究第48-53页
   ·石英相变理论及现状第48-49页
   ·合成高纯石英的相变研究第49-52页
     ·石英煅烧后的XRD分析第49-51页
     ·石英煅烧后的SEM分析第51-52页
   ·本章小结第52-53页
第6章 结论与展望第53-55页
   ·结论第53页
   ·实验的创新点第53-54页
   ·展望第54页
   ·存在的问题第54-55页
致谢第55-56页
参考文献第56-59页
攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果第59页

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