GaN型MOCVD控制系统的设计与研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| ·引言 | 第8-10页 |
| ·MOCVD技术概述 | 第10-13页 |
| ·MOCVD简介 | 第10-11页 |
| ·MOCVD设备的研制历程及现状 | 第11-13页 |
| ·MOCVD系统原理 | 第13-16页 |
| ·MOCVD的工作原理 | 第13-14页 |
| ·MOCVD的工艺流程 | 第14-16页 |
| ·本文主要研究工作和结构安排 | 第16-18页 |
| ·主要工作 | 第16-17页 |
| ·论文结构 | 第17-18页 |
| 第2章 MOCVD控制系统研究 | 第18-32页 |
| ·控制系统概述 | 第18-23页 |
| ·工业PC | 第18-19页 |
| ·PLC控制系统 | 第19-20页 |
| ·DCS控制系统 | 第20-21页 |
| ·FCS控制系统 | 第21-23页 |
| ·MOCVD系统的控制方案 | 第23-25页 |
| ·MOCVD控制系统组成 | 第25-31页 |
| ·上位机监控系统 | 第26-27页 |
| ·气路输运系统 | 第27页 |
| ·反应室控制系统 | 第27-29页 |
| ·温度控制系统 | 第29-30页 |
| ·手套箱控制系统 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 MOCVD系统的硬件设计 | 第32-51页 |
| ·MOCVD系统的硬件配置 | 第32-33页 |
| ·上位机硬件配置 | 第33-34页 |
| ·下位机硬件配置 | 第34-41页 |
| ·主PLC配置 | 第34-39页 |
| ·手套箱PLC配置 | 第39-41页 |
| ·现场设备配置 | 第41-42页 |
| ·通讯硬件配置 | 第42-50页 |
| ·工业以太网 | 第42-44页 |
| ·设备网 | 第44-45页 |
| ·RSLinx | 第45-49页 |
| ·PPI通讯 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 MOCVD系统PLC程序设计 | 第51-64页 |
| ·编程软件——RSLogix5000 | 第51-53页 |
| ·主控系统程序设计 | 第53-61页 |
| ·工作模式 | 第53-56页 |
| ·模拟量输入输出 | 第56-57页 |
| ·数字量输入输出 | 第57-58页 |
| ·步序控制 | 第58-60页 |
| ·循环控制 | 第60-61页 |
| ·手套箱PLC程序设计 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第5章 MOCVD系统上位机软件设计 | 第64-79页 |
| ·开发平台——Delphi7 | 第65-67页 |
| ·上位机监控软件简介 | 第67-71页 |
| ·工艺编辑 | 第68页 |
| ·系统监控 | 第68-69页 |
| ·数据曲线 | 第69-70页 |
| ·软件加密 | 第70-71页 |
| ·上位机监控软件与PLC通讯 | 第71-77页 |
| ·OPC | 第72-74页 |
| ·上位机与PLC通讯的实现 | 第74-77页 |
| ·应用效果 | 第77-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 第6章 结论与展望 | 第79-81页 |
| ·全文总结 | 第79-80页 |
| ·展望 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-84页 |
