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射频辉光放电与ICP联用光谱激发源研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
第1章 绪论第8-16页
   ·研究背景第8-9页
   ·辉光放电光谱仪等离子体激发源第9-15页
     ·辉光放电基本原理第9-10页
     ·辉光放电溅射激发原理第10-11页
     ·辉光放电发射光谱仪(GD-OES)激发源的种类第11-15页
   ·本论文研究的主要内容第15-16页
第2章 增强型辉光放电激发源综述第16-23页
   ·二次放电增强辉光放电第16-17页
   ·磁场增强辉光放电第17-18页
   ·微波增强辉光放电第18-19页
   ·气体喷射增强辉光放电第19-20页
   ·自偏压偏置电流增强RF辉光放电第20-21页
   ·脉冲增强辉光放电第21-22页
   ·射频增强辉光放电第22-23页
第3章 RF GD-ICP联用增强型激发源的实验研究第23-48页
   ·RF GD-ICP联用增强型激发源实验装置第23-28页
     ·射频驱动阻抗匹配网络第23-24页
     ·GD-ICP联用增强型激发源示意图第24-25页
     ·GD-ICP联用增强型激发源结构图第25-26页
     ·光检测系统第26-27页
     ·MetalLab光谱分析应用软件第27-28页
   ·RF GD-ICP联用增强型激发源实验方法第28-31页
     ·描迹法(Profile)第28-30页
     ·建立样品标准工作曲线法(Calibration)第30-31页
   ·RF GD-ICP联用增强型激发源实验结果、讨论及分析第31-48页
     ·探索性实验第31-33页
     ·描迹法(Profile)考察增强的实验结果及分析第33-40页
     ·建立样品校准工作曲线法(Calibration)考察增强的实验结果及分析第40-48页
第4章 结论与展望第48-51页
   ·结论第48-49页
   ·有待进一步研究的问题第49-51页
参考文献第51-54页
致谢第54-55页
研究生期间发表的论文第55页

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