用于WDM系统的集成解复用接收技术的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| ·研究意义和课题背景 | 第10-12页 |
| ·论文结构安排 | 第12页 |
| 参考文献 | 第12-14页 |
| 第二章 波分复用系统和RCE光探测器概述 | 第14-28页 |
| ·WDM技术的发展趋势 | 第14-16页 |
| ·WDM光网络中的关键器件 | 第16-20页 |
| ·激光器 | 第16页 |
| ·波分复用器 | 第16-19页 |
| ·光放大器 | 第19页 |
| ·光探测器 | 第19-20页 |
| ·RCE光探测器的发展 | 第20-25页 |
| ·传统RCE光探测器 | 第20-22页 |
| ·多腔微结构的RCE探测器 | 第22-25页 |
| ·小结 | 第25-26页 |
| 参考文献 | 第26-28页 |
| 第三章 薄膜计算和RCE光探测器理论 | 第28-41页 |
| ·薄膜特性的计算理论 | 第28-30页 |
| ·分布布拉格反射镜结构 | 第30-31页 |
| ·F-P腔滤波器 | 第31-32页 |
| ·RCE光探测器的理论分析 | 第32-39页 |
| ·RCE光探测器的量子效率 | 第32-36页 |
| ·RCE光探测器的高速特性 | 第36-38页 |
| ·量子效率与光谱响应线宽之间的制约关系 | 第38-39页 |
| ·小结 | 第39页 |
| 参考文献 | 第39-41页 |
| 第四章 集成解复用接收器的设计 | 第41-58页 |
| ·平顶陡边响应的光探测器的设计 | 第41-48页 |
| ·平顶陡边滤波器原理 | 第42-45页 |
| ·器件结构及工作原理 | 第45-48页 |
| ·并行探测集成解复用接收器的设计 | 第48-56页 |
| ·基于楔形腔结构的并行探测集成解复用接收器的设计 | 第48-53页 |
| ·基于阶梯腔结构的并行探测集成解复用接收器的设计 | 第53-56页 |
| ·小结 | 第56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 第五章 斜面、阶梯腔、弧形悬臂的制作工艺研究 | 第58-72页 |
| ·半导体光电子工艺简介 | 第58-61页 |
| ·半导体外延技术 | 第58-59页 |
| ·介质薄膜生长工艺 | 第59-60页 |
| ·金属膜制作工艺 | 第60页 |
| ·光刻工艺 | 第60-61页 |
| ·腐蚀工艺 | 第61页 |
| ·斜面的制作 | 第61-63页 |
| ·阶梯腔的制作 | 第63-67页 |
| ·弧形悬臂的制作 | 第67-70页 |
| ·小结 | 第70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第73页 |
