电镀铜薄膜缺口件疲劳断裂特性与寿命预测研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·铜薄膜疲劳研究的概述 | 第9-17页 |
| ·疲劳试验方法 | 第10-12页 |
| ·循环形变行为及疲劳强度 | 第12-13页 |
| ·疲劳裂纹的萌生及扩展行为 | 第13-16页 |
| ·疲劳损伤的微观机制及尺寸效应 | 第16-17页 |
| ·铜薄膜缺口件疲劳的研究现状 | 第17-18页 |
| ·本论文所要研究的内容 | 第18-19页 |
| 第2章 基于准 LIGA技术的电镀铜薄膜试件制作 | 第19-29页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·准LIGA工艺 | 第19-22页 |
| ·光刻 | 第21-22页 |
| ·电铸 | 第22页 |
| ·铜薄膜掩模板制作 | 第22-24页 |
| ·版图设计 | 第23-24页 |
| ·版图制作 | 第24页 |
| ·电镀铜薄膜试样制作 | 第24-28页 |
| ·制作工艺流程 | 第24-27页 |
| ·制作试样实图 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 电镀铜薄膜疲劳试验 | 第29-46页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·试验设备 | 第29-32页 |
| ·疲劳试验机 | 第29-31页 |
| ·三维视频显微镜 | 第31-32页 |
| ·夹具改进设计 | 第32页 |
| ·试验机位移标定 | 第32页 |
| ·疲劳试验加载条件设置 | 第32-34页 |
| ·试样装夹 | 第32-33页 |
| ·加载频率的选择 | 第33页 |
| ·循环波形的选择 | 第33页 |
| ·应力量的选择 | 第33页 |
| ·试验过程中数据的采集 | 第33-34页 |
| ·静力拉伸试验 | 第34-36页 |
| ·拉拉疲劳试验 | 第36-45页 |
| ·试验结果 | 第36-38页 |
| ·循环应力-应变行为 | 第38-40页 |
| ·循环应力-应变曲线测定 | 第40-42页 |
| ·试验观察及断口电镜扫描 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 铜薄膜缺口件有限元分析 | 第46-55页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·有限元理论介绍 | 第46-47页 |
| ·分析软件 ANSYS介绍 | 第47-48页 |
| ·电镀铜薄膜试样缺口根部有限元分析 | 第48-51页 |
| ·有限元数值分析基本假设 | 第48-49页 |
| ·有限元网格划分 | 第49页 |
| ·加载方式及加载步骤的设置 | 第49-51页 |
| ·有限元计算验证及结果分析 | 第51-54页 |
| ·有限元计算验证 | 第51-53页 |
| ·有限元结果分析 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 电镀铜薄膜寿命预测 | 第55-65页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·疲劳寿命预测方法 | 第55-58页 |
| ·名义应力法 | 第55页 |
| ·局部应力应变法 | 第55-58页 |
| ·损伤累积和寿命预测 | 第58-64页 |
| ·三种损伤估算及寿命预测对比 | 第58-61页 |
| ·应力大小的影响 | 第61-62页 |
| ·平均应力的影响 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读工学硕士学位期间发表的学术论文 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
